[實用新型]一種硅片運輸裝置

有效

• 申請號: 202022357895.8
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN213635932U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 周思潔;曹芳;葉曉亞;鄒帥;王栩生
• 申請（專利權）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種硅片運輸裝置，其特征在于，包括：

懸浮組件，包括沿水平面上的第一方向延伸的第一氣管(1)，所述第一氣管(1)的頂部側壁上沿所述第一方向開設有多個第一通氣孔(11)，所述第一通氣孔(11)吹出的氣流能夠使硅片(10)懸浮在所述第一氣管(1)上方；

驅動組件，包括第一吹氣件(3)，所述第一吹氣件(3)上開設有第一出氣口(31)，所述第一出氣口(31)能夠沿所述第一方向朝向懸浮的所述硅片(10)吹氣，以使懸浮的所述硅片(10)沿所述第一方向移動。

2.根據權利要求1所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括第一升降件，所述第一吹氣件(3)置于所述第一升降件上，所述第一升降件能夠調整所述第一吹氣件(3)的高度。

3.根據權利要求1所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括第二升降件和第二吹氣件(4)，所述第二吹氣件(4)與所述第一吹氣件(3)沿所述第一方向間隔設置，所述第二吹氣件(4)相背所述第一吹氣件(3)的一側開設有第二出氣口(41)；且所述第二吹氣件(4)置于所述第二升降件上，所述第二升降件能夠調整所述第二吹氣件(4)的高度。

4.根據權利要求3所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述第二吹氣件(4)朝向所述第一吹氣件(3)的一側開設有第三出氣口(42)。

5.根據權利要求3所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述驅動組件還包括第三升降件和第三吹氣件(5)，所述第一吹氣件(3)、所述第二吹氣件(4)與所述第三吹氣件(5)沿所述第一方向間隔設置，所述第三吹氣件(5)相背所述第二吹氣件(4)的一側開設有第四出氣口(51)；且所述第三吹氣件(5)置于所述第三升降件上，所述第三升降件能夠調整所述第三吹氣件(5)的高度。

6.根據權利要求5所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述第三吹氣件(5)朝向所述第二吹氣件(4)的一側開設有第五出氣口(52)。

7.根據權利要求1-6任一項所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述第一氣管(1)設置有至少兩個，且至少兩個所述第一氣管(1)平行且間隔設置。

8.根據權利要求1-6任一項所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述懸浮組件還包括沿所述第一方向設置的第二氣管(2)，所述第二氣管(2)的底部側壁上沿所述第一方向開設多個第二通氣孔(21)，所述第二氣管(2)設置在所述第一氣管(1)上方，且所述硅片(10)能夠置于所述第一氣管(1)與所述第二氣管(2)之間。

9.根據權利要求8所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述第二氣管(2)設置有至少兩個，且至少兩個所述第二氣管(2)平行且間隔設置。

10.根據權利要求8所述的硅片運輸裝置，其特征在于，所述硅片運輸裝置還包括供氣件，所述供氣件的出氣端連通于所述第一氣管(1)與所述第二氣管(2)的進氣端。