[實用新型]一種磁鋼調節裝置

有效

• 申請號: 202022345064.9
• 申請日: 2020-10-19
• 公開（公告）號: CN213447283U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 梁瑞記;黃穎;焦春雷;范存貴;崔平生;艾發智
• 申請（專利權）人: 東莞南玻工程玻璃有限公司;中國南玻集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54;G01R33/02
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 李瑩

本實用新型公開了一種磁鋼調節裝置，涉及磁控濺射靶材技術領域。磁鋼調節裝置包括支架、驅動端、水電端、靶材模具、磁鋼、第一驅動裝置、第二驅動裝置以及測量模組，測量模組包括兩標尺、高斯計以及滑塊；磁鋼設置在靶材模具內，靶材模具上開設有多個調節孔；驅動端以及水電端均設置在支架上，靶材模具的兩端分別設置在驅動端以及水電端上；兩標尺間隔設置在支架上，兩標尺均平行設置在靶材模具的下方；滑塊橫跨在兩標尺上，且可在兩標尺上滑動，高斯計設置在滑塊上；第一驅動裝置與靶材模具連接，用于驅動靶材模具旋轉；第二驅動裝置與滑塊連接，用于驅動滑塊移動。磁鋼調節裝置能夠模擬磁鋼正常工作下的工況，從而提高了磁鋼調節的準確性。

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射靶材技術領域，尤其涉及一種磁鋼調節裝置。

背景技術

鍍膜玻璃生產線廣泛使用磁控濺射旋轉靶，旋轉靶內部的磁鋼在長時間使用后，會由于腐蝕等原因而使磁場強度發生變化，導致整根旋轉靶的磁場強度的橫向均勻性變差，進而會影響到旋轉靶的單靶均勻性和鍍膜產品的均勻性。因此需要對旋轉靶的磁鋼進行調節維護。

現有的調節方式是將磁鋼固定平放于架子上，磁場朝上，然后進行磁場測量并記錄，再根據磁場強度的值對磁鋼的對應的調節點位進行調節。采用這種方法對磁鋼進行磁場調節后再安裝至旋轉靶內，但是在使用過程往往發現均勻性沒有改善。

這種方法的缺陷是無法模擬旋轉靶的正常使用狀態，磁鋼是安裝在旋轉靶內部的，表面是靶材，而且工作時靶材是旋轉的，靶材和磁鋼重量的影響、靶材的旋轉都會對磁場強度的產生影響，因此這種方法測量的磁場強度不是準確的，影響到后面的調節工作。

實用新型內容

本實用新型實施例所要解決的技術問題是如何提高磁鋼磁場強度測量的準確性。

為了解決上述問題，本實用新型實施例提出一種磁鋼調節裝置，所述磁鋼調節裝置包括支架、驅動端、水電端、靶材模具、磁鋼、第一驅動裝置、第二驅動裝置以及測量模組，所述測量模組包括兩標尺、高斯計以及滑塊；所述磁鋼設置在所述靶材模具內，所述靶材模具上開設有多個調節孔，所述調節孔的位置與所述磁鋼的調節點的位置對應；所述驅動端以及水電端均設置在所述支架上，所述靶材模具的兩端分別設置在所述驅動端以及水電端上；兩標尺間隔設置在所述支架上，兩標尺均平行設置在所述靶材模具的下方；所述滑塊橫跨在兩標尺上，且可在兩標尺上滑動，所述高斯計設置在滑塊上；所述第一驅動裝置與所述靶材模具連接，用于驅動所述靶材模具旋轉；所述第二驅動裝置與所述滑塊連接，用于驅動所述滑塊移動。

其進一步的技術方案為，所述磁鋼調節裝置還包括上位機，所述高斯計與上位機連接。

其進一步的技術方案為，所述水電端可在所述支架上移動，以調整水電端與驅動端的距離，從而適配不同規格的磁鋼。

其進一步的技術方案為，所述調節孔等間距設置。

其進一步的技術方案為，所述調節孔的數量與磁鋼的調節點的數量相同。

其進一步的技術方案為，所述標尺上設置有刻度。

其進一步的技術方案為，所述滑塊包括主體部以及與所述主體部連接的支撐腳。

其進一步的技術方案為，所述主體部為圓弧形，所述主體部的中心設有用于安裝高斯計的安裝孔。

其進一步的技術方案為，所述第一驅動裝置包括第一電機以及轉軸，所述第一電機通過轉軸與所述靶材模具連接。

其進一步的技術方案為，所述第二驅動裝置包括第二電機以及傳送皮帶，所述傳送皮帶與滑塊的支撐腳連接；第二電機與傳送皮帶連接，驅動傳送皮帶運動，進而帶動滑塊滑動。

與現有技術相比，本實用新型實施例所能達到的技術效果包括：