[實用新型]一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置

有效

• 申請號: 202022338747.1
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN213240424U
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 李敏霞;張珂珂;曲傳悟
• 申請（專利權）人: 聯暻半導體（山東）有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073
• 代理公司: 漢中市銘源專利代理事務所(普通合伙) 61235
• 代理人: 楊悅

本實用新型公開了一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，包括檢測平臺和伸縮氣缸，所述檢測平臺內對稱開設有兩個安裝腔，每個所述安裝腔內均橫向轉動連接有轉動桿，兩個所述轉動桿相對的一端均轉動連接在安裝腔的內壁上，兩個所述轉動桿相背的一端均貫穿檢測平臺的側壁并固定安裝有旋轉把手，所述轉動桿轉動連接在檢測平臺的側壁內，所述轉動桿上對稱固定安裝有兩個螺紋套，每個所述螺紋套上均螺紋連接有螺紋塊，每個所述螺紋塊的上端均固定安裝有夾板，所述檢測平臺的上端面對稱開設有兩個與夾板相匹配的滑孔。本實用新型，可以同時對兩個芯片本體進行檢測，檢測效率高。

技術領域

本實用新型涉及芯片檢測技術領域，尤其涉及一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置。

背景技術

與PCR技術一樣，芯片技術已經開展和將要開展的應用領域非常的廣泛。生物芯片的第一個應用領域是檢測基因表達。但是將生物分子有序地放在芯片上檢測生化標本的策略是具有廣泛的應用領域，除了基因表達分析外，雜交為基礎的分析已用于基因突變的檢測、多態性分析、基因作圖、進化研究和其它方面的應用，微陣列分析還可用于檢測蛋白質與核酸、小分子物質及與其它蛋白質的結合，但這些領域的應用仍待發展。

現有的芯片在使用之前，需要對芯片進行檢測，在芯片檢測的過程中通常只能對一個芯片進行檢測，檢測速度慢，檢測效率低。

為了解決上述問題，本實用新型提出一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中“現有的芯片在使用之前，需要對芯片進行檢測，在芯片檢測的過程中通常只能對一個芯片進行檢測，檢測速度慢，檢測效率低”的缺陷，從而提出一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，包括檢測平臺和伸縮氣缸，所述檢測平臺內對稱開設有兩個安裝腔，每個所述安裝腔內均橫向轉動連接有轉動桿，兩個所述轉動桿相對的一端均轉動連接在安裝腔的內壁上，兩個所述轉動桿相背的一端均貫穿檢測平臺的側壁并固定安裝有旋轉把手，所述轉動桿轉動連接在檢測平臺的側壁內，所述轉動桿上對稱固定安裝有兩個螺紋套，每個所述螺紋套上均螺紋連接有螺紋塊，每個所述螺紋塊的上端均固定安裝有夾板，所述檢測平臺的上端面對稱開設有兩個與夾板相匹配的滑孔，所述夾板滑動連接在滑孔內，兩個所述夾板相對的一側均對稱固定安裝有兩個夾片，兩個所述夾板之間共同設置有芯片本體，所述芯片本體的上端面開設有多個探測孔，所述芯片本體的正下方設置有風機，所述風機固定安裝在檢測平臺的上端面內，所述風機的輸出端固定安裝有出風管，所述出風管與芯片本體正相對，所述伸縮氣缸固定安裝在檢測平臺的上端面，所述伸縮氣缸上設置有檢測機構。

優選的，所述檢測機構包括頂板和探針座，所述伸縮氣缸的輸出端通過活塞桿固定安裝有頂板，所述頂板的下端面對稱固定安裝有兩個安裝塊，每個所述安裝塊上分別固定安裝有狀態指示燈和參數顯示屏。

優選的，所述安裝塊的下端面與探針座固定連接在一起，所述探針座的下端面等間距的固定安裝有多個探針，每個所述探針均與探測孔相匹配。

優選的，所述旋轉把手上套接有橡膠套，所述橡膠套上設置有防滑凸起。

優選的，所述檢測平臺的下端面對稱固定安裝有四個支撐腿，每個所述支撐腿的下端均設置有防滑腳。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：