[實用新型]一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022338747.1
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN213240424U
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李敏霞;張珂珂;曲傳悟
• 申請（專利權(quán)）人: 聯(lián)暻半導體（山東）有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073
• 代理公司: 漢中市銘源專利代理事務(wù)所(普通合伙) 61235
• 代理人: 楊悅

1.一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，包括檢測平臺(11)和伸縮氣缸(6)，其特征在于，所述檢測平臺(11)內(nèi)對稱開設(shè)有兩個安裝腔(9)，每個所述安裝腔(9)內(nèi)均橫向轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動桿(14)，兩個所述轉(zhuǎn)動桿(14)相對的一端均轉(zhuǎn)動連接在安裝腔(9)的內(nèi)壁上，兩個所述轉(zhuǎn)動桿(14)相背的一端均貫穿檢測平臺(11)的側(cè)壁并固定安裝有旋轉(zhuǎn)把手(8)，所述轉(zhuǎn)動桿(14)轉(zhuǎn)動連接在檢測平臺(11)的側(cè)壁內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動桿(14)上對稱固定安裝有兩個螺紋套(10)，每個所述螺紋套(10)上均螺紋連接有螺紋塊(12)，每個所述螺紋塊(12)的上端均固定安裝有夾板(7)，所述檢測平臺(11)的上端面對稱開設(shè)有兩個與夾板(7)相匹配的滑孔(15)，所述夾板(7)滑動連接在滑孔(15)內(nèi)，兩個所述夾板(7)相對的一側(cè)均對稱固定安裝有兩個夾片，兩個所述夾板(7)之間共同設(shè)置有芯片本體(16)，所述芯片本體(16)的上端面開設(shè)有多個探測孔，所述芯片本體(16)的正下方設(shè)置有風機(18)，所述風機(18)固定安裝在檢測平臺(11)的上端面內(nèi)，所述風機(18)的輸出端固定安裝有出風管(17)，所述出風管(17)與芯片本體(16)正相對，所述伸縮氣缸(6)固定安裝在檢測平臺(11)的上端面，所述伸縮氣缸(6)上設(shè)置有檢測機構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述檢測機構(gòu)包括頂板(3)和探針座(2)，所述伸縮氣缸(6)的輸出端通過活塞桿(4)固定安裝有頂板(3)，所述頂板(3)的下端面對稱固定安裝有兩個安裝塊，每個所述安裝塊上分別固定安裝有狀態(tài)指示燈(1)和參數(shù)顯示屏(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述安裝塊的下端面與探針座(2)固定連接在一起，所述探針座(2)的下端面等間距的固定安裝有多個探針，每個所述探針均與探測孔相匹配。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)把手(8)上套接有橡膠套，所述橡膠套上設(shè)置有防滑凸起。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，其特征在于，所述檢測平臺(11)的下端面對稱固定安裝有四個支撐腿(13)，每個所述支撐腿(13)的下端均設(shè)置有防滑腳。