[實用新型]一種氮化硅燒結爐

有效

• 申請號: 202022336820.1
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN213396478U
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 柏小龍
• 申請（專利權）人: ?？酥Z新材料（大連）有限公司
• 主分類號: F27B5/05
• 分類號: F27B5/05;F27B5/06;F27B5/14;F27D1/18;F27D11/00;H05B6/64
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本實用新型公開一種氮化硅燒結爐。本實用新型提供一種氮化硅燒結爐，包括：其特征在于，包括：底座、驅動裝置燒結室、微波加熱裝置以及可拆卸式燒結罐。通過設置底座、驅動裝置、燒結室、微波加熱裝置以及可拆卸式燒結罐，可拆卸式燒結罐可以插在驅動裝置的轉軸上，使得轉軸上的攪拌葉片伸入罐體內部，通過驅動裝置帶動轉軸轉動從而對罐體內的原料進行攪拌，燒結室底部設置有微波加熱裝置，可以利用微波進行氮化硅的燒結。罐體可以靈活從燒結室中取出，便于裝料和卸料以及維護，微波加熱裝置加熱溫度場均勻，熱應力小，適宜于快速燒結。

技術領域

本實用新型涉及氮化硅燒結技術領域，具體涉及一種氮化硅燒結爐。

背景技術

申請號CN201720564456.X的現有專利公開一種氮化硅用臥式真空燒結爐，包括底座和爐體，底座的表面中部設有安裝槽，在安裝槽內放置有螺旋纏繞的勵磁繞組，底座的表面前端左右兩側分別設有高頻電力轉換裝置和控制開關組，勵磁繞組的輸入端電連接高頻電力轉換裝置的輸出端，高頻電力轉換裝置的輸入端電連接控制開關組的輸出端，位于安裝槽兩側的底座表面對稱焊接有支架，在支架的頂端安裝有軸承座，爐體通過兩端的第一轉軸水平的轉動設在軸承座之間，且爐體位于勵磁繞組的上端。爐體的內部設有攪拌裝置，攪拌裝置包括攪拌片、旋流片和第二轉軸，攪拌片為十字形，攪拌片通過兩端的第二轉軸轉動設在爐體的內部，上述燒結爐在使用時，硅原料上料至爐體內部，而爐體內部設置有旋流片結構，并且爐體安裝在底座上與轉軸齒輪等轉動結構裝配一旦裝配完成后，平時并不會隨便拆卸，這使得在燒結結束后，爐體內部的氮化硅不便于卸料。

實用新型內容

發明本實用新型的目的是針對上述不足，提供一種氮化硅燒結爐，以解決現有燒結爐不便于卸料的問題。

本實用新型提供一種氮化硅燒結爐，包括：其特征在于，包括：底座、驅動裝置燒結室、微波加熱裝置以及可拆卸式燒結罐；

所述驅動裝置和所述燒結室設置于所述底座上，所述微波加熱裝置設置于所述燒結室下方，所述驅動裝置設置有轉軸，所述轉軸外周面設置有三個攪拌葉片，三個攪拌葉片圍繞轉軸的軸線呈圓周均勻分布；

所述燒結室包括燒結室腔體、燒結室門以及燒結室門固定組件，所述轉軸穿過所述燒結室的一端伸入所述燒結室腔體的內部，所述攪拌葉片位于所述燒結室腔體內，所述燒結室門鉸接于所述燒結室腔體的另一端，所述燒結室門固定組件連接于所述燒結室門的自由端，所述燒結室門固定組件包括L型板、轉動連接件以及定位銷，所述L型板的一端通過所述轉動連接件轉動連接于所述燒結室門上，所述定位銷穿過所述L型板插入所述燒結室腔體的定位孔上；所述燒結室腔體內部底面設置有燒結罐支架；

所述可拆卸式燒結罐呈空心圓柱狀，所述可拆卸式燒結罐包括罐體、第一端蓋以及第二端蓋，所述第一端蓋可拆卸連接于所述罐體的一端，所述第二端蓋可拆卸連接于所述罐體的另一端，所述第一端蓋上設置有第一圓形通孔、第一條狀通孔以及弧狀凹槽，所述第一圓形通孔設置于所述第一端蓋的中心，三個所述第一條狀通孔圍繞所述第一圓形通孔呈圓形均勻分布，所述第一圓形通孔和第一條狀通孔連通，三個弧狀凹槽圍繞所述第一圓形通孔呈圓形均勻分布且與三個所述第一條狀通孔交錯設置，所述燒結室腔體一端內壁設置有與三個弧狀凹槽相匹配的三個弧狀定位凸塊；所述第二端蓋上設置有第二圓形通孔和第二條狀通孔，所述第二圓形通孔設置于所述第二端蓋的中心，三個所述第二條狀通孔圍繞所述第二圓形通孔呈圓形均勻分布；

所述可拆卸式燒結罐位于所述燒結室腔體內，所述可拆卸式燒結罐設置于所述燒結罐支架上，所述轉軸位于所述第一圓形通孔和第二圓形通孔內，所述攪拌葉片位于所述罐體內部。

進一步地，所述燒結罐支架的頂部呈與所述罐體外形相匹配的圓弧狀，所述燒結罐支架的數量為兩個，兩個燒結罐支架平行設置，兩個燒結罐支架的間距小于所述罐體的長度。

進一步地，所述第一圓形通孔、所述第二圓形通孔以及所述轉軸的直徑相等。