[實用新型]一種氮化硅燒結爐

有效

• 申請號: 202022336820.1
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN213396478U
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 柏小龍
• 申請（專利權）人: 埃克諾新材料（大連）有限公司
• 主分類號: F27B5/05
• 分類號: F27B5/05;F27B5/06;F27B5/14;F27D1/18;F27D11/00;H05B6/64
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1.一種氮化硅燒結爐，包括：其特征在于，包括：底座(1)、驅動裝置(2)、燒結室(3)、微波加熱裝置(4)以及可拆卸式燒結罐(5)；

所述驅動裝置(2)和所述燒結室(3)設置于所述底座(1)上，所述微波加熱裝置(4)設置于所述燒結室(3)下方，所述驅動裝置(2)設置有轉軸(21)，所述轉軸(21)外周面設置有三個攪拌葉片(22)，三個攪拌葉片(22)圍繞轉軸(21)的軸線呈圓周均勻分布；

所述燒結室(3)包括燒結室腔體(31)、燒結室門(32)以及燒結室門固定組件(33)，所述轉軸(21)穿過所述燒結室(3)的一端伸入所述燒結室腔體(31)的內部，所述攪拌葉片(22)位于所述燒結室腔體(31)內，所述燒結室門(32)鉸接于所述燒結室腔體(31)的另一端，所述燒結室門固定組件(33)連接于所述燒結室門(32)的自由端，所述燒結室門固定組件(33)包括L型板(331)、轉動連接件(332)以及定位銷(333)，所述L型板(331)的一端通過所述轉動連接件(332)轉動連接于所述燒結室門(32)上，所述定位銷(333)穿過所述L型板(331)插入所述燒結室腔體(31)的定位孔上；所述燒結室腔體(31)內部底面設置有燒結罐支架(34)；

所述可拆卸式燒結罐(5)呈空心圓柱狀，所述可拆卸式燒結罐(5)包括罐體(51)、第一端蓋(52)以及第二端蓋(53)，所述第一端蓋(52)可拆卸連接于所述罐體(51)的一端，所述第二端蓋(53)可拆卸連接于所述罐體(51)的另一端，所述第一端蓋(52)上設置有第一圓形通孔(521)、第一條狀通孔(522)以及弧狀凹槽(523)，所述第一圓形通孔(521)設置于所述第一端蓋(52)的中心，三個所述第一條狀通孔(522)圍繞所述第一圓形通孔(521)呈圓形均勻分布，所述第一圓形通孔(521)和第一條狀通孔(522)連通，三個弧狀凹槽(523)圍繞所述第一圓形通孔(521)呈圓形均勻分布且與三個所述第一條狀通孔(522)交錯設置，所述燒結室腔體(31)一端內壁設置有與三個弧狀凹槽(523)相匹配的三個弧狀定位凸塊(311)；所述第二端蓋(53)上設置有第二圓形通孔(531)和第二條狀通孔(532)，所述第二圓形通孔(531)設置于所述第二端蓋(53)的中心，三個所述第二條狀通孔(532)圍繞所述第二圓形通孔(531)呈圓形均勻分布；

所述可拆卸式燒結罐(5)位于所述燒結室腔體(31)內，所述可拆卸式燒結罐(5)設置于所述燒結罐支架(34)上，所述轉軸(21)位于所述第一圓形通孔(521)和第二圓形通孔(531)內，所述攪拌葉片(22)位于所述罐體(51)內部。

2.根據權利要求1所述的一種氮化硅燒結爐，其特征在于，所述燒結罐支架(34)的頂部呈與所述罐體(51)外形相匹配的圓弧狀，所述燒結罐支架(34)的數量為兩個，兩個燒結罐支架(34)平行設置，兩個燒結罐支架(34)的間距小于所述罐體(51)的長度。

3.根據權利要求2所述的一種氮化硅燒結爐，其特征在于，所述第一圓形通孔(521)、所述第二圓形通孔(531)以及所述轉軸(21)的直徑相等。

4.根據權利要求3所述的一種氮化硅燒結爐，其特征在于，所述攪拌葉片(22)在所述轉軸(21)徑向上的寬度小于所述罐體(51)的內徑，所述攪拌葉片(22)在所述轉軸(21)軸向上的長度小于所述罐體(51)的長度。

5.根據權利要求4所述的一種氮化硅燒結爐，其特征在于，所述攪拌葉片(22)上設置有數個第一矩形鏤空部(221)和數個第二矩形鏤空部(222)，所述第一矩形鏤空部(221)和第二矩形鏤空部(222)貫穿所述攪拌葉片(22)的兩側表面，所述第一矩形鏤空部(221)沿著所述轉軸(21)的軸向間隔分布，所述第二矩形鏤空部(222)連通于所述第一矩形鏤空部(221)的上方，所述第二矩形鏤空部(222)的寬度小于所述第一矩形鏤空部(221)的寬度。