[實(shí)用新型]一種晶圓片加工用碎屑收集裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022304620.8
• 申請(qǐng)日: 2020-10-16
• 公開（公告）號(hào): CN213890731U
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盛育;盧凱;韋勝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州百克晶電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B28D7/02
• 分類號(hào): B28D7/02;B28D7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型涉及晶圓片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，包括收集殼，所述收集殼內(nèi)側(cè)通過固定板固定安裝有安裝盒，所述安裝盒內(nèi)部一側(cè)固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)控制輸出上端固定安裝有第一皮帶輪，所述安裝盒內(nèi)部另一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸中部固定安裝有第二皮帶輪，所述第二皮帶輪通過皮帶與所述第一皮帶輪傳動(dòng)相連，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上端貫穿延伸至所述安裝盒上方并固定安裝有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤兩側(cè)均固定安裝有套接凸緣，該裝置使用效果好，值得推廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓片加工用碎屑收集裝置。

背景技術(shù)

晶圓片又稱硅晶片，是由硅錠加工而成的，通過專門的工藝可以在硅晶片上刻蝕出數(shù)以百萬計(jì)的晶體管，被廣泛應(yīng)用于集成電路的制造，晶圓片在加工過程中，會(huì)產(chǎn)生碎屑，這些碎屑中的小顆粒向外擴(kuò)散不方便清理，不僅僅會(huì)影響周圍環(huán)境的整潔，而且容易蹦到工作人員的眼睛里，具有一定的安全隱患。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在工作過程中存在有碎屑，不便于對(duì)其進(jìn)行清理的缺點(diǎn)，而提出的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

設(shè)計(jì)一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，包括收集殼，所述收集殼內(nèi)側(cè)通過固定板固定安裝有安裝盒，所述安裝盒內(nèi)部一側(cè)固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)控制輸出上端固定安裝有第一皮帶輪，所述安裝盒內(nèi)部另一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸中部固定安裝有第二皮帶輪，所述第二皮帶輪通過皮帶與所述第一皮帶輪傳動(dòng)相連，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸上端貫穿延伸至所述安裝盒上方并固定安裝有轉(zhuǎn)盤，所述轉(zhuǎn)盤兩側(cè)均固定安裝有套接凸緣，所述收集殼內(nèi)側(cè)表面還通過支撐桿固定安裝有限制架，所述限制架與所述套接凸緣相配合，所述轉(zhuǎn)盤上端面固定安裝有放置臺(tái)，所述放置臺(tái)兩側(cè)均固定安裝有安裝架，所述安裝架上端螺紋連接有緊固螺栓，所述收集殼下端固定安裝有出屑板，所述出屑板外側(cè)表面固定安裝有支撐腿。

優(yōu)選的，所述限制架是一個(gè)截面為環(huán)形形狀的結(jié)構(gòu)，所述套接凸緣轉(zhuǎn)動(dòng)套設(shè)于所述限制架外側(cè)。

優(yōu)選的，所述收集殼上端固定安裝有一體結(jié)構(gòu)的沿邊，所述沿邊是一個(gè)截面為弧形形狀的結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述放置臺(tái)是一個(gè)截面為環(huán)形形狀的結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述出屑板下端的半徑小于所述上端的半徑。

本實(shí)用新型提出的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，有益效果在于：該裝置在使用過程中，圓晶片放置在放置臺(tái)上進(jìn)行加工，產(chǎn)生的碎屑會(huì)直接被收集殼進(jìn)行阻擋收集，之后啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)第一皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，第一皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)通過皮帶帶動(dòng)第二皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)，第二皮帶輪轉(zhuǎn)動(dòng)從而會(huì)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)會(huì)帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)會(huì)帶動(dòng)放置臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，放置臺(tái)和轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，散落在放置臺(tái)和轉(zhuǎn)盤表面的碎屑會(huì)產(chǎn)生離心力，碎屑在離心力的作用下向外側(cè)拋出，碎屑碰到收集殼的內(nèi)壁后向下掉落，然后通過出屑板向下掉落被收集。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型提出的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型提出的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置的圖1中A-A處的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型提出的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：收集殼1、固定板2、安裝盒3、電機(jī)4、第一皮帶輪5、皮帶6、第二皮帶輪7、轉(zhuǎn)動(dòng)軸8、轉(zhuǎn)盤9、套接凸緣10、限制架11、支撐桿12、放置臺(tái)13、安裝架14、緊固螺栓15、沿邊16、出屑板17、支撐腿18。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。

實(shí)施例1