[實用新型]一種晶圓片加工用碎屑收集裝置

有效

• 申請號: 202022304620.8
• 申請日: 2020-10-16
• 公開（公告）號: CN213890731U
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 盛育;盧凱;韋勝
• 申請（專利權）人: 蘇州百克晶電子科技有限公司
• 主分類號: B28D7/02
• 分類號: B28D7/02;B28D7/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，包括收集殼(1)，其特征在于，所述收集殼(1)內側通過固定板(2)固定安裝有安裝盒(3)，所述安裝盒(3)內部一側固定安裝有電機(4)，所述電機(4)控制輸出上端固定安裝有第一皮帶輪(5)，所述安裝盒(3)內部另一側轉動設有轉動軸(8)，所述轉動軸(8)中部固定安裝有第二皮帶輪(7)，所述第二皮帶輪(7)通過皮帶(6)與所述第一皮帶輪(5)傳動相連，所述轉動軸(8)上端貫穿延伸至所述安裝盒(3)上方并固定安裝有轉盤(9)，所述轉盤(9)兩側均固定安裝有套接凸緣(10)，所述收集殼(1)內側表面還通過支撐桿(12)固定安裝有限制架(11)，所述限制架(11)與所述套接凸緣(10)相配合，所述轉盤(9)上端面固定安裝有放置臺(13)，所述放置臺(13)兩側均固定安裝有安裝架(14)，所述安裝架(14)上端螺紋連接有緊固螺栓(15)，所述收集殼(1)下端固定安裝有出屑板(17)，所述出屑板(17)外側表面固定安裝有支撐腿(18)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，其特征在于，所述限制架(11)是一個截面為環形形狀的結構，所述套接凸緣(10)轉動套設于所述限制架(11)外側。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，其特征在于，所述收集殼(1)上端固定安裝有一體結構的沿邊(16)，所述沿邊(16)是一個截面為弧形形狀的結構。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，其特征在于，所述放置臺(13)是一個截面為環形形狀的結構。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓片加工用碎屑收集裝置，其特征在于，所述出屑板(17)下端的半徑小于所述上端的半徑。