[實(shí)用新型]單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022303934.6
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN213337009U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 冉澤平;謝國榮;祁海濱;倪浩然;李金波;王忠保;王凱
• 申請（專利權(quán)）人: 寧夏中欣晶圓半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: G01N1/32
• 分類號: G01N1/32;G01N1/34
• 代理公司: 寧夏合天律師事務(wù)所 64103
• 代理人: 曹廣濤

一種單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，包括混酸槽、酸液恒溫部件、隔膜泵，酸液恒溫部件包括酸液熱交換組件、恒溫組件，酸液熱交換組件包括箱體，箱體內(nèi)的頂部設(shè)有上部緩沖箱、箱體內(nèi)的底部設(shè)置下部緩沖箱，箱體的內(nèi)部設(shè)有恒溫介質(zhì)輸送管，恒溫介質(zhì)輸送管分別與下部緩沖箱、下部緩沖箱的內(nèi)部連通，恒溫組件分別與上部緩沖箱、下部緩沖箱的內(nèi)部連通；本實(shí)用新型通過恒溫組件可將溫度一定的介質(zhì)輸送至恒溫介質(zhì)輸送管，利用恒溫介質(zhì)與箱體內(nèi)的混酸進(jìn)行熱交換，使混酸的溫度處于恒定，通過隔膜泵的循環(huán)作用，使混酸槽內(nèi)的混酸不斷在混酸槽內(nèi)進(jìn)行循環(huán)，保證反應(yīng)槽中的酸液反應(yīng)溫度，使混酸槽內(nèi)混酸溫度波動變小，從而保證單晶硅樣片檢測的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及單晶硅生產(chǎn)輔助設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置。

背景技術(shù)

單晶硅樣片的檢測對樣片的表面狀態(tài)有著一定的要求。混酸反應(yīng)是檢測樣片處理的必要前處理步驟，能夠去除表面的金屬污染及加工過程中造成的損傷層，為樣片檢測提供良好的表面狀態(tài)。

但是，混酸拋光清洗過程中存在的最大的問題是反應(yīng)溫度無法控制。混酸對硅片有拋光清洗效果是因?yàn)榛焖崮軌蚺c硅片表面發(fā)生反應(yīng)，不斷剝離硅片表面，從而達(dá)到去除損傷層及表面污染的效果。化學(xué)反應(yīng)過程中，放出大量反應(yīng)熱量，使混酸溫度升高，且耐腐蝕容器的導(dǎo)熱性差，溫度反應(yīng)遲鈍，酸液溫度升高后難以冷卻，高溫酸液會加速反應(yīng)剝離速度，如此形成不可控的惡性循環(huán)。雖然樣片狀態(tài)能夠通過混酸拋光達(dá)到，但是其拋光過程的剝離量，因?yàn)閯冸x速度不可控，導(dǎo)致剝離量存在較大波動，對檢測的穩(wěn)定性造成了較大的影響。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，有必要提供一種單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置。

一種單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，包括混酸槽、酸液恒溫部件、隔膜泵，所述混酸槽的出口端通過管道與隔膜泵的入口端連通，所述隔膜泵的出口端通過管道與酸液恒溫部件的入口端連通，所述酸液恒溫部件的出口端通過管道與混酸槽的入口端連通，所述酸液恒溫部件包括酸液熱交換組件、恒溫組件，所述酸液熱交換組件包括箱體，所述箱體內(nèi)的頂部固定設(shè)置有上部緩沖箱、箱體內(nèi)的底部固定設(shè)置下部緩沖箱，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有恒溫介質(zhì)輸送管，所述恒溫介質(zhì)輸送管的入口端與下部緩沖箱的內(nèi)部連通，恒溫介質(zhì)輸送管的出口端與上部緩沖箱的內(nèi)部連通，所述恒溫組件的入口端通過管道與上部緩沖箱的內(nèi)部連通，恒溫組件的出口端通過管道與下部緩沖箱的內(nèi)部連通。

優(yōu)選的，所述箱體的外部固定設(shè)置有酸液輸入管、酸液輸出管，所述酸液輸入管、酸液輸出管均與箱體的內(nèi)部連通。

優(yōu)選的，所述酸液輸入管位于箱體的上部，酸液輸入管與隔膜泵的出口端通過管道連通，所述酸液輸出管位于箱體的下部，酸液輸出管與混酸槽的入口端通過管道連通。

優(yōu)選的，所述恒溫介質(zhì)輸送管呈S形。

優(yōu)選的，所述恒溫介質(zhì)輸送管沿箱體內(nèi)部等距設(shè)置。

優(yōu)選的，所述混酸槽內(nèi)設(shè)置有溫度檢測器。

優(yōu)選的，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有溫度檢測器。