[實用新型]單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置

有效

• 申請號: 202022303934.6
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN213337009U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 冉澤平;謝國榮;祁海濱;倪浩然;李金波;王忠保;王凱
• 申請（專利權）人: 寧夏中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: G01N1/32
• 分類號: G01N1/32;G01N1/34
• 代理公司: 寧夏合天律師事務所 64103
• 代理人: 曹廣濤

1.一種單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，其特征在于：包括混酸槽、酸液恒溫部件、隔膜泵，所述混酸槽的出口端通過管道與隔膜泵的入口端連通，所述隔膜泵的出口端通過管道與酸液恒溫部件的入口端連通，所述酸液恒溫部件的出口端通過管道與混酸槽的入口端連通，所述酸液恒溫部件包括酸液熱交換組件、恒溫組件，所述酸液熱交換組件包括箱體，所述箱體內的頂部固定設置有上部緩沖箱、箱體內的底部固定設置下部緩沖箱，所述箱體的內部設置有恒溫介質輸送管，所述恒溫介質輸送管的入口端與下部緩沖箱的內部連通，恒溫介質輸送管的出口端與上部緩沖箱的內部連通，所述恒溫組件的入口端通過管道與上部緩沖箱的內部連通，恒溫組件的出口端通過管道與下部緩沖箱的內部連通。

2.根據權利要求1所述的單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，其特征在于：所述箱體的外部固定設置有酸液輸入管、酸液輸出管，所述酸液輸入管、酸液輸出管均與箱體的內部連通。

3.根據權利要求2所述的單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，其特征在于：所述酸液輸入管位于箱體的上部，酸液輸入管與隔膜泵的出口端通過管道連通，所述酸液輸出管位于箱體的下部，酸液輸出管與混酸槽的入口端通過管道連通。

4.根據權利要求1所述的單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，其特征在于：所述恒溫介質輸送管呈S形。

5.根據權利要求4所述的單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，其特征在于：所述恒溫介質輸送管沿箱體內部等距設置。

6.根據權利要求1所述的單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，其特征在于：所述混酸槽內設置有溫度檢測器。

7.根據權利要求1所述的單晶硅檢測樣片混酸拋光清洗裝置，其特征在于：所述箱體的內部設置有溫度檢測器。