[實(shí)用新型]晶圓盒調(diào)平裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022303531.1
• 申請(qǐng)日: 2020-10-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213635925U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜振東;舒貽勝;宋金梁;郭劍飛;姚建強(qiáng);黃長(zhǎng)興;陳夏薇;謝世敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州長(zhǎng)川科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 杭州華進(jìn)聯(lián)浙知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33250
• 代理人: 蔣豹

本申請(qǐng)涉及調(diào)平裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓盒調(diào)平裝置。該晶圓盒調(diào)平裝置包括平臺(tái)組件以及第一調(diào)節(jié)組件，第一調(diào)節(jié)組件的一端用于承載晶圓盒，另一端轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于平臺(tái)組件，第一調(diào)節(jié)組件能夠相對(duì)平臺(tái)組件升降，并帶動(dòng)晶圓盒相對(duì)平臺(tái)組件運(yùn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)晶圓盒相對(duì)平臺(tái)組件的位置。本申請(qǐng)的優(yōu)點(diǎn)在于：在晶圓盒需要進(jìn)行水平調(diào)節(jié)時(shí)，能夠通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)第一調(diào)節(jié)組件，使晶圓盒水平，同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)單獨(dú)調(diào)平晶圓盒，調(diào)節(jié)更加簡(jiǎn)易，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單加工成本低且便于檢修，避免因晶圓盒調(diào)平裝置在使用時(shí)因振動(dòng)磨損導(dǎo)致不水平，需要通過(guò)調(diào)節(jié)整個(gè)裝置水平的方式來(lái)調(diào)平晶圓盒。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及調(diào)平裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓盒調(diào)平裝置。

背景技術(shù)

晶圓盒在半導(dǎo)體生產(chǎn)運(yùn)輸中主要起儲(chǔ)存和輸送晶圓的作用，能夠降低晶圓被污染的風(fēng)險(xiǎn)。晶圓在測(cè)試過(guò)程中需要機(jī)械手在晶圓盒中對(duì)晶圓進(jìn)行取放操作，該過(guò)程對(duì)晶圓的水平度有較高的要求，水平度偏差嚴(yán)重的情況下會(huì)導(dǎo)致機(jī)械手撞壞晶圓。

現(xiàn)有晶圓測(cè)試裝備的晶圓盒放置在晶圓加載平臺(tái)上，晶圓盒的水平主要通過(guò)加工、調(diào)節(jié)整個(gè)晶圓加載平臺(tái)的水平來(lái)實(shí)現(xiàn)。

但，后期如果因?yàn)闄C(jī)臺(tái)振動(dòng)導(dǎo)致平臺(tái)不水平，需要通過(guò)調(diào)節(jié)地腳等方式來(lái)解決，使水平調(diào)節(jié)比較困難；且晶圓盒調(diào)平裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、體積大、質(zhì)量重、不便于檢修且裝配精度高，多種規(guī)格晶圓盒的水平靠機(jī)械裝配精度實(shí)現(xiàn)，無(wú)法單獨(dú)進(jìn)行獨(dú)立穩(wěn)定地水平調(diào)節(jié)。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，有必要提供一種能夠獨(dú)立調(diào)平不同規(guī)格晶圓盒、調(diào)節(jié)簡(jiǎn)易、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單加工成本低且便于檢修的晶圓盒調(diào)平裝置。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┤缦录夹g(shù)方案：

一種晶圓盒調(diào)平裝置包括平臺(tái)組件以及第一調(diào)節(jié)組件，所述第一調(diào)節(jié)組件的一端用于承載晶圓盒，另一端轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述平臺(tái)組件，所述第一調(diào)節(jié)組件能夠相對(duì)所述平臺(tái)組件升降，并帶動(dòng)所述晶圓盒相對(duì)所述平臺(tái)組件運(yùn)動(dòng)，以調(diào)節(jié)所述晶圓盒相對(duì)所述平臺(tái)組件的位置。

在本申請(qǐng)中，將第一調(diào)節(jié)組件安裝于平臺(tái)組件，晶圓盒置于第一調(diào)節(jié)組件上，在晶圓盒需要進(jìn)行水平調(diào)節(jié)時(shí)，可轉(zhuǎn)動(dòng)第一調(diào)節(jié)組件，使第一調(diào)節(jié)組件能夠相對(duì)于平臺(tái)組件升降，從而實(shí)現(xiàn)晶圓盒的水平調(diào)節(jié)；同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)單獨(dú)調(diào)平晶圓盒，使調(diào)節(jié)更加簡(jiǎn)易，避免因晶圓盒調(diào)平裝置在使用時(shí)因振動(dòng)磨損導(dǎo)致不水平，需要通過(guò)調(diào)節(jié)整個(gè)裝置水平的方式來(lái)調(diào)平晶圓盒。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一調(diào)節(jié)組件的數(shù)量為多組，多組所述第一調(diào)節(jié)組件以陣列方式布置于所述平臺(tái)組件上，且每組所述第一調(diào)節(jié)組件能夠獨(dú)立地相對(duì)所述平臺(tái)組件升降。

如此設(shè)置，在晶圓盒需要進(jìn)行水平調(diào)節(jié)時(shí)，可以通過(guò)分別轉(zhuǎn)動(dòng)每組第一調(diào)節(jié)組件，實(shí)現(xiàn)晶圓盒的局部調(diào)整，提高對(duì)晶圓盒進(jìn)行更精準(zhǔn)的調(diào)節(jié)。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一調(diào)節(jié)組件包括第一調(diào)節(jié)件以及第一鎖緊件，所述平臺(tái)組件上開(kāi)設(shè)有第一調(diào)節(jié)孔，所述第一調(diào)節(jié)件一端安裝于所述第一調(diào)節(jié)孔內(nèi)，所述晶圓盒安裝于所述第一調(diào)節(jié)件的另一端，所述第一調(diào)節(jié)件能夠沿著所述第一調(diào)節(jié)孔的軸線方向升降，所述第一鎖緊件套設(shè)于所述第一調(diào)節(jié)件，用于鎖緊調(diào)節(jié)后的所述第一調(diào)節(jié)件。

如此設(shè)置，將第一調(diào)節(jié)件安裝于第一調(diào)節(jié)孔內(nèi)，通過(guò)調(diào)節(jié)第一調(diào)節(jié)件的高度，實(shí)現(xiàn)晶圓盒的水平調(diào)節(jié)，再通過(guò)鎖緊第一鎖緊件來(lái)實(shí)現(xiàn)第一調(diào)節(jié)件的位置穩(wěn)定可靠。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述晶圓盒調(diào)平裝置還包括第二調(diào)節(jié)組件，所述第二調(diào)節(jié)組件設(shè)于所述平臺(tái)組件上，用于調(diào)整所述平臺(tái)組件的水平度。

如此設(shè)置，再結(jié)合第一調(diào)節(jié)組件對(duì)晶圓盒的水平位置的調(diào)節(jié)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盒的多層次調(diào)節(jié)，使得調(diào)節(jié)的精度更高，進(jìn)一步避免取放時(shí)晶圓盒的損壞。