[實用新型]一種翹曲度測量裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022303087.3 | 申請日： | 2020-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN213422079U | 公開（公告）日： | 2021-06-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 楊柳;孫軍;張振中;和巍巍 | 申請（專利權）人： | 深圳基本半導體有限公司 |
| 主分類號： | G01B5/30 | 分類號： | G01B5/30 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市坪山區(qū)坑梓街道辦*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 曲度 測量 裝置 | ||
1.一種翹曲度測量裝置，其特征在于，所述翹曲度測量裝置包括：
基座；
承載機構，包括第一支架及測量平臺，所述測量平臺上形成有第一通孔，所述第一支架的兩端分別與所述測量平臺及所述基座螺紋連接，并在所述測量平臺與所述基座之間形成一安裝區(qū)域；
測量機構，包括測量部和從所述測量部伸出的探針，所述測量部架設于所述安裝區(qū)域內(nèi)，且使得所述探針的第一端伸出所述第一通孔。
2.根據(jù)權利要求1所述的翹曲度測量裝置，其特征在于，所述翹曲度測量裝置還包括第二支架，所述第二支架在所述安裝區(qū)域內(nèi)固定于所述基座上，所述第二支架用于固定或放置所述測量部，以能夠抵持所述測量部。
3.根據(jù)權利要求2所述的翹曲度測量裝置，其特征在于，所述第二支架包括支撐桿及夾持件，所述支撐桿固定于所述基座上，所述夾持件包括兩個夾板，這兩個夾板相對設置，并通過第一緊固件將其一端夾緊于所述支撐桿上，兩個夾板的另一端通過第二緊固件夾持所述測量部。
4.根據(jù)權利要求3所述的翹曲度測量裝置，其特征在于，所述夾持件的數(shù)量為兩個，分別用于夾持所述測量部的兩端。
5.根據(jù)權利要求3所述的翹曲度測量裝置，其特征在于，所述第一緊固件及所述第二緊固件均為螺絲。
6.根據(jù)權利要求2所述的翹曲度測量裝置，其特征在于，所述第二支架包括支撐部及與所述支撐部固定連接的抵持部，所述支撐部固定于所述基座上，所述抵持部上設有第二通孔，所述抵持部用于放置所述測量部，并使得所述探針的第二端可自由伸出所述第二通孔。
7.根據(jù)權利要求6所述的翹曲度測量裝置，其特征在于，所述抵持部的形狀與所述測量部的外廓部分對應，以使得所述抵持部與所述測量部充分接觸。
8.根據(jù)權利要求1所述的翹曲度測量裝置，其特征在于，所述測量機構可為千分表。
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