[實用新型]一種密封式旋轉勻膠設備

有效

• 申請號: 202022291277.8
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN214021741U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 汪竹;陳酉冰;魏益波;劉正偉
• 申請（專利權）人: 江蘇雷博科學儀器有限公司
• 主分類號: B05C11/08
• 分類號: B05C11/08;B05C15/00;B05D3/04
• 代理公司: 江陰市權益專利代理事務所(普通合伙) 32443
• 代理人: 陳強

本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，包含有主機架（3），所述主機架（3）上豎向設置有轉動主軸（10），所述轉動主軸（10）由主動力機構（7）驅動旋轉，載物盤（4）固定安裝于轉動主軸（10）的頂部，且載物盤（4）位于主機架（3）的平臺面上方，基片頂升機構（9）安裝于主機架（3）的平臺面下方，且基片頂升機構（9）的頂升件向上穿過主機架（3）的平臺面，載物盤（4）上方設置有同步蓋（2），且同步蓋（2）的頂部中心軸旋轉插接在同步蓋提升機構（1）上。本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，能夠方便的對超大尺寸基片進行旋涂勻膠。

技術領域

本實用新型涉及一種旋轉勻膠設備，尤其是一種密封式結構的旋轉勻膠設備。

背景技術

目前，大型激光設備制造過程，需要采用涂膠設備對超大尺寸基片進行光刻膠的涂覆（即勻膠工藝）。常規的光刻膠涂覆工藝有噴涂、旋涂（旋轉涂膠）及刮涂等，其中旋涂工藝的膜厚均勻性最好。

但是，如今半導體行業內的旋轉涂膠設備無法完成大尺寸基片的光刻膠涂覆工藝，極少數定制的超大尺寸涂膠設備結構簡單，只能實現基片的旋轉，無法避免涂膠過程中的氣流影響，從而無法保證方型基片的涂膠工藝。為此，亟需一種能夠解決上述問題的旋涂勻膠設備。

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足，提供一種能夠方便的對超大尺寸基片進行旋涂勻膠的密封式旋轉勻膠設備。

本實用新型的目的是這樣實現的：

一種密封式旋轉勻膠設備，包含有主機架，所述主機架上豎向設置有轉動主軸，所述轉動主軸由主動力機構驅動旋轉，載物盤固定安裝于轉動主軸的頂部，且載物盤位于主機架的平臺面上方，基片頂升機構安裝于主機架的平臺面下方，且基片頂升機構的頂升件向上穿過主機架的平臺面，載物盤上方設置有同步蓋，且同步蓋的頂部中心軸旋轉插接在同步蓋提升機構上。

本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，所述主動力機構經由同步傳動帶驅動轉動主軸旋轉，且同步傳動帶由同步帶張緊機構提供張緊力。

本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，所述主機架側壁上安裝有小車導向定位機構，用于對裝載有集片的小車進行定位導向。

本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，滑動設置于平移機構上的自動涂膠臂位于載物盤上方；用于對放置于載物盤上的集片進行旋涂作業。

本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，自動腐蝕臂安裝于主機架旁。

本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，所述載物盤上設置有真空吸附孔，上述轉動主軸經旋轉接頭與載物盤箱連接，且真空吸附孔經由旋轉接頭上的氣孔連通至抽真空裝置。

本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備，所述同步蓋提升機構包含有水平設置的連接平板，同步蓋的頂部中心軸旋轉插接在連接平板的一端上，該連接平板滑動設置于豎向安裝的滑軌模組上，且連接平板的另一端上設置有配重，使得其可承受重量較大的同步蓋的開蓋和閉蓋。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型可方便的為基片（尤其是超大尺寸）提供旋涂工藝，且加裝自動腐蝕臂臂后可進行濕法腐蝕工藝，實現一機多用；同時，本實用新型設備整體結構緊湊，在保證涂膠和腐蝕工藝的前提下，設備自動化程度較高，便于超大尺寸基片的工藝生產要求。

附圖說明

圖1為本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備的結構示意圖。

圖2為本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備的正視圖。

圖3為本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備的側視圖。

圖4為本實用新型一種密封式旋轉勻膠設備的俯視圖。

其中：