[實用新型]一種密封式旋轉勻膠設備

有效

• 申請號: 202022291277.8
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN214021741U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 汪竹;陳酉冰;魏益波;劉正偉
• 申請（專利權）人: 江蘇雷博科學儀器有限公司
• 主分類號: B05C11/08
• 分類號: B05C11/08;B05C15/00;B05D3/04
• 代理公司: 江陰市權益專利代理事務所(普通合伙) 32443
• 代理人: 陳強

1.一種密封式旋轉勻膠設備，包含有主機架（3），所述主機架（3）上豎向設置有轉動主軸（10），所述轉動主軸（10）由主動力機構（7）驅動旋轉，載物盤（4）固定安裝于轉動主軸（10）的頂部，且載物盤（4）位于主機架（3）的平臺面上方，其特征在于：

基片頂升機構（9）安裝于主機架（3）的平臺面下方，且基片頂升機構（9）的頂升件向上穿過主機架（3）的平臺面，載物盤（4）上方設置有同步蓋（2），且同步蓋（2）的頂部中心軸旋轉插接在同步蓋提升機構（1）上。

2.如權利要求1所述一種密封式旋轉勻膠設備，其特征在于：所述主動力機構（7）經由同步傳動帶（12）驅動轉動主軸（10）旋轉，且同步傳動帶（12）由同步帶張緊機構（11）提供張緊力。

3.如權利要求1所述一種密封式旋轉勻膠設備，其特征在于：所述主機架（3）側壁上安裝有小車導向定位機構（5），用于對裝載有集片的小車進行定位導向。

4.如權利要求1所述一種密封式旋轉勻膠設備，其特征在于：滑動設置于平移機構上的自動涂膠臂（6）位于載物盤（4）上方；用于對放置于載物盤（4）上的集片進行旋涂作業。

5.如權利要求1所述一種密封式旋轉勻膠設備，其特征在于：自動腐蝕臂（8）安裝于主機架（3）旁。

6.如權利要求1所述一種密封式旋轉勻膠設備，其特征在于：所述載物盤（4）上設置有真空吸附孔，上述轉動主軸（10）經旋轉接頭與載物盤（4）箱連接，且真空吸附孔經由旋轉接頭上的氣孔連通至抽真空裝置。

7.如權利要求1所述一種密封式旋轉勻膠設備，其特征在于：所述同步蓋提升機構（1）包含有水平設置的連接平板，同步蓋（2）的頂部中心軸旋轉插接在連接平板的一端上，該連接平板滑動設置于豎向安裝的滑軌模組上，且連接平板的另一端上設置有配重。