[實用新型]晶圓位移傳動裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022278832.3
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN212725263U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 夏儒斐
• 申請（專利權(quán)）人: 東舟技術(shù)（深圳）有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 深圳茂達智聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44394
• 代理人: 張凡

1.一種晶圓位移傳動裝置，其特征在于，包括固定支撐機構(gòu)、設(shè)于固定支撐機構(gòu)上的XY軸位移機構(gòu)，以及設(shè)于XY軸位移機構(gòu)上的用于吸附固定晶圓的吸盤機構(gòu)，

所述XY軸位移機構(gòu)用于驅(qū)動吸盤機構(gòu)在XY平面移動，所述XY軸位移機構(gòu)包括X軸滑動裝置、Y軸滑動裝置，所述X軸滑動裝置、Y軸滑動裝置相對固定支撐機構(gòu)可快速滑動，從而快速調(diào)整吸盤機構(gòu)的位置；

所述XY軸位移機構(gòu)還包括X軸微調(diào)裝置、Y軸微調(diào)裝置，所述X軸微調(diào)裝置、Y軸微調(diào)裝置均包括第一旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件、傳動連接第一旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件的傳動帶組件以及分離傳動組件，所述分離傳動組件一端可分離的連接傳動帶組件，另一端分別與X軸滑動裝置、Y軸滑動裝置傳動連接。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述X軸微調(diào)裝置、Y軸微調(diào)裝置均還包括手動控制把手，所述手動控制把手通過剎車線連接分離傳動組件。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述分離傳動組件包括限位塊、壓縮彈簧以及傳動柱；

所述限位塊上形成一供傳動帶組件的同步帶穿過的通道，并在通道一側(cè)設(shè)置擋塊；

所述傳動柱設(shè)于通道相對另一側(cè)，所述傳動柱與剎車線連接，所述壓縮彈簧設(shè)于限位塊與傳動柱之間，用于推動所述傳動柱朝向擋塊移動，從而將傳動帶組件的同步帶夾緊。

4.如權(quán)利要求2所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述固定支撐機構(gòu)包括基板，所述基板上開設(shè)有Y軸朝向的條形通槽；

所述Y軸滑動裝置設(shè)于基板下方，包括Y軸底板，所述Y軸底板上設(shè)有傳動軸；

所述X軸滑動裝置設(shè)于基板上方，包括X軸底板，X軸底板上設(shè)有導槽；

其中，所述吸盤機構(gòu)設(shè)于X軸底板上，所述傳動軸自條形通槽伸出，并伸入導槽內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述導槽由若干導條圍成，所述導槽包括喇叭口狀的引導部以及位于引導部收口端的限位部，所述限位部用于與傳動軸配合傳動。

6.如權(quán)利要求4所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，還包括用于精確旋轉(zhuǎn)所述吸盤機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)傳動帶組件以及驅(qū)動旋轉(zhuǎn)傳動帶組件的第二旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件。

7.如權(quán)利要求6所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)傳動帶組件包括旋轉(zhuǎn)傳動帶、與旋轉(zhuǎn)傳動帶嚙合的若干旋轉(zhuǎn)同步輪，其中一所述旋轉(zhuǎn)同步輪與吸盤機構(gòu)同軸連接，另一所述旋轉(zhuǎn)同步輪與第二旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件同軸連接。

8.如權(quán)利要求6所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述手動控制把手設(shè)置于X軸底板下端面邊緣，所述第二旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件設(shè)置于X軸底板下端面邊緣，且靠近所述手動控制把手。

9.如權(quán)利要求4所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述第一旋轉(zhuǎn)微調(diào)組件設(shè)置于基板下端面邊緣，且靠近所述手動控制把手設(shè)置。

10.如權(quán)利要求4所述的晶圓位移傳動裝置，其特征在于，所述X軸基板上還設(shè)有用于連接另一裝置的接駁組件。