[實(shí)用新型]一種硼擴(kuò)散裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022256883.6
• 申請(qǐng)日: 2020-10-12
• 公開（公告）號(hào): CN213150732U
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李鐵;李楊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇沃宏裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/223
• 代理公司: 南京科知維創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 32270
• 代理人: 許益民

1.一種硼擴(kuò)散裝置，其特征在于：包括擴(kuò)散爐、石英舟、進(jìn)氣機(jī)構(gòu)和排氣機(jī)構(gòu)；

所述擴(kuò)散爐的第一端設(shè)置爐門，所述擴(kuò)散爐的第二端設(shè)置進(jìn)氣口和排氣口，所述進(jìn)氣口處設(shè)置第一進(jìn)氣管，所述排氣口處設(shè)置第一排氣管，所述石英舟設(shè)于所述擴(kuò)散爐的內(nèi)部，用以裝載硅片；

所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)包括硼源儲(chǔ)存罐、第一合流元件、第二進(jìn)氣管、第三進(jìn)氣管和第一連接管，所述硼源儲(chǔ)存罐內(nèi)部?jī)?chǔ)存有BBr₃液體；所述第一合流元件具有一個(gè)出口和兩個(gè)入口，所述第一進(jìn)氣管與所述第一合流元件的出口連接，所述第二進(jìn)氣管與所述第一合流元件的一個(gè)入口連接，向其內(nèi)通入氧氣；所述硼源儲(chǔ)存罐通過所述第一連接管與所述第一合流元件的另一個(gè)入口連接；所述第三進(jìn)氣管與所述硼源儲(chǔ)存罐連接，向其內(nèi)通入氮?dú)猓?/p>

所述排氣機(jī)構(gòu)包括耐壓儲(chǔ)水罐、第二合流元件、第二排氣管、第四進(jìn)氣管和第二連接管，所述第二合流元件具有一個(gè)出口和兩個(gè)入口，所述第一排氣管與所述第二合流元件的一個(gè)入口連接，所述耐壓儲(chǔ)水罐通過所述第二連接管與所述第二合流元件的另一個(gè)入口連接，所述第二排氣管與所述第二合流元件的出口連接；所述第四進(jìn)氣管與所述耐壓儲(chǔ)水罐連接，向其內(nèi)通入氮?dú)狻?/p>

2.如權(quán)利要求1所述的硼擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述擴(kuò)散爐內(nèi)設(shè)有保溫?cái)_流板，所述保溫?cái)_流板處于所述爐門的內(nèi)側(cè)，且所述保溫?cái)_流板的一側(cè)與所述擴(kuò)散爐的內(nèi)壁連接，所述保溫?cái)_流板的另一側(cè)與所述擴(kuò)散爐的內(nèi)壁之間留有間隙。

3.如權(quán)利要求1所述的硼擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣機(jī)構(gòu)還包括源溫控制裝置，用于保證BBr₃液體溫度恒定，所述硼源儲(chǔ)存罐設(shè)于所述源溫控制裝置內(nèi)。

4.如權(quán)利要求3所述的硼擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述源溫控制裝置為半導(dǎo)體干式恒溫器。

5.如權(quán)利要求1所述的硼擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述第一排氣管沿所述擴(kuò)散爐的長度方向從所述排氣口的外部穿入所述擴(kuò)散爐內(nèi)并向所述擴(kuò)散爐的第一端延伸。

6.如權(quán)利要求5所述的硼擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述第一排氣管上設(shè)有多個(gè)氣孔。

7.如權(quán)利要求1所述的硼擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述第一合流元件、所述第二合流元件為合流三通閥或PTFE三通接頭。