[實用新型]一種離子注入機的硅片公轉盤

有效

• 申請號: 202022253499.0
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN212874427U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 楊光宇
• 申請（專利權）人: 銳捷芯盛（天津）電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/30
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 周慶路

本實用新型提供了一種離子注入機的硅片公轉盤，屬于離子注入機技術領域。包括安裝組件、移動組件和旋轉組件，其中，安裝組件中的支撐腿固定于固定板。移動組件中的第一電機固定于第一安裝板，絲桿的一端固定于第一電機，另一端安裝于第二安裝板，傳動螺母傳動于絲桿，傳動螺母與移動塊固定連接。旋轉組件中的第一安裝桶固定于移動塊，第二安裝桶固定安裝于第二電機的輸出軸，第二安裝桶設置在第一安裝桶的外側，工作臺固定安裝于第二安裝桶遠離第一安裝桶的一側，工作臺上開設有凹槽，凹槽被構造成容置硅片。提高離子注入機的利用率，提高工作效率，同時工作在離子注入機的外側取出硅片，安全性大大提高。

技術領域

本實用新型涉及離子注入機技術領域，具體而言，涉及一種離子注入機的硅片公轉盤。

背景技術

離子注入機是高壓小型加速器中的一種，應用數量最多。它是由離子源得到所需要的離子，經過加速得到幾百千電子伏能量的離子束流，用做半導體材料、大規模集成電路和器件的離子注入，還用于金屬材料表面改性和制膜等。

利用離子注入機對硅片進行加工時需要用到公轉盤，現有的公轉盤大多是只有一個且固定安裝在離子注入機內，硅片加工完成后需要取出硅片，這是離子注入機停止工作，降低離子注入機的利用效率，而且工作人員需要進入到離子注入機的內部才能夠從公轉盤上取出硅片，安全性差。

實用新型內容

為了彌補以上不足，本實用新型提供了一種離子注入機的硅片公轉盤，旨在改善現有的公轉盤降低離子注入機的利用效率，而且工作人員需要進入到離子注入機的內部才能夠從公轉盤上取出硅片，安全性差的問題。

本實用新型是這樣實現的：本實用新型提供一種離子注入機的硅片公轉盤，包括安裝組件、移動組件和旋轉組件，其中，移動組件實現兩個旋轉組件的位置更換，旋轉組件實現工作臺的旋轉。

所述安裝組件包括固定板和支撐腿，所述支撐腿固定安裝于所述固定板的一側。

所述移動組件包括第一安裝板、第一電機、絲桿、第二安裝板、傳動螺母和移動塊，所述第一安裝板固定安裝于所述固定板的一端端部，所述第一電機固定安裝于所述第一安裝板，所述絲桿的一端固定安裝于所述第一電機的輸出軸，所述絲桿的另一端轉動安裝于所述第二安裝板，所述第二安裝板固定安裝于所述固定板遠離所述第一安裝板的一端端部，所述傳動螺母傳動連接于所述絲桿，所述傳動螺母與所述移動塊固定連接。

所述旋轉組件設置有兩組，兩組所述旋轉組件設置在所述絲桿上，所述旋轉組件包括第一安裝桶、第二電機、第二安裝桶和工作臺，所述第一安裝桶固定安裝于所述移動塊，所述第二電機固定安裝于所述第一安裝桶的內部，所述第二安裝桶固定安裝于所述第二電機的輸出軸，所述第二安裝桶設置在所述第一安裝桶的外側，所述工作臺固定安裝于所述第二安裝桶遠離所述第一安裝桶的一側，所述工作臺上開設有凹槽，所述凹槽被構造成容置硅片。

在本實用新型的一種實施例中，還包括頂料組件，所述頂料組件包括驅動件、升降板、連接桿和頂料板，所述驅動件固定安裝于所述第二安裝桶的內部，所述升降板固定安裝于所述驅動件，所述連接桿固定安裝于所述升降板遠離所述驅動件的一面，所述連接桿插接于所述工作臺內，所述頂料板固定安裝于所述連接桿遠離所述升降板的一端，所述頂料板容置于所述凹槽內。

在本實用新型的一種實施例中，所述頂料板遠離所述連接桿的一面固定有橡膠墊，所述橡膠墊能夠與硅片抵觸。

在本實用新型的一種實施例中，所述第一安裝桶遠離所述第二安裝桶的一端兩側均固定有滑座，所述滑座滑動連接有導軌，所述導軌固定安裝有安裝塊，所述安裝塊固定安裝于所述固定板。

在本實用新型的一種實施例中，所述固定板遠離所述支撐腿的一面兩側均固定有限位塊，所述限位塊能夠與所述移動塊抵觸，所述移動塊在兩個所述限位塊之間移動。

在本實用新型的一種實施例中，所述支撐腿遠離所述固定板的一面固定有底座，所述底座能夠與地面抵觸。