[實用新型]一種離子注入機的硅片公轉盤

有效

• 申請號: 202022253499.0
• 申請日: 2020-10-12
• 公開（公告）號: CN212874427U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 楊光宇
• 申請（專利權）人: 銳捷芯盛（天津）電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/30
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 周慶路

1.一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，包括

安裝組件(100)，所述安裝組件(100)包括固定板(110)和支撐腿(120)，所述支撐腿(120)固定安裝于所述固定板(110)的一側；

移動組件(200)，所述移動組件(200)包括第一安裝板(210)、第一電機(220)、絲桿(230)、第二安裝板(240)、傳動螺母(250)和移動塊(260)，所述第一安裝板(210)固定安裝于所述固定板(110)的一端端部，所述第一電機(220)固定安裝于所述第一安裝板(210)，所述絲桿(230)的一端固定安裝于所述第一電機(220)的輸出軸，所述絲桿(230)的另一端轉動安裝于所述第二安裝板(240)，所述第二安裝板(240)固定安裝于所述固定板(110)遠離所述第一安裝板(210)的一端端部，所述傳動螺母(250)傳動連接于所述絲桿(230)，所述傳動螺母(250)與所述移動塊(260)固定連接；

旋轉組件(300)，所述旋轉組件(300)設置有兩組，兩組所述旋轉組件(300)設置在所述絲桿(230)上，所述旋轉組件(300)包括第一安裝桶(310)、第二電機(320)、第二安裝桶(330)和工作臺(340)，所述第一安裝桶(310)固定安裝于所述移動塊(260)，所述第二電機(320)固定安裝于所述第一安裝桶(310)的內部，所述第二安裝桶(330)固定安裝于所述第二電機(320)的輸出軸，所述第二安裝桶(330)設置在所述第一安裝桶(310)的外側，所述工作臺(340)固定安裝于所述第二安裝桶(330)遠離所述第一安裝桶(310)的一側，所述工作臺(340)上開設有凹槽(341)，所述凹槽(341)被構造成容置硅片。

2.根據權利要求1所述的一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，還包括頂料組件(400)，所述頂料組件(400)包括驅動件(410)、升降板(420)、連接桿(430)和頂料板(440)，所述驅動件(410)固定安裝于所述第二安裝桶(330)的內部，所述升降板(420)固定安裝于所述驅動件(410)，所述連接桿(430)固定安裝于所述升降板(420)遠離所述驅動件(410)的一面，所述連接桿(430)插接于所述工作臺(340)內，所述頂料板(440)固定安裝于所述連接桿(430)遠離所述升降板(420)的一端，所述頂料板(440)容置于所述凹槽(341)內。

3.根據權利要求2所述的一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，所述頂料板(440)遠離所述連接桿(430)的一面固定有橡膠墊(441)，所述橡膠墊(441)能夠與硅片抵觸。

4.根據權利要求1所述的一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，所述第一安裝桶(310)遠離所述第二安裝桶(330)的一端兩側均固定有滑座(311)，所述滑座(311)滑動連接有導軌(111)，所述導軌(111)固定安裝有安裝塊(112)，所述安裝塊(112)固定安裝于所述固定板(110)。

5.根據權利要求1所述的一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，所述固定板(110)遠離所述支撐腿(120)的一面兩側均固定有限位塊(113)，所述限位塊(113)能夠與所述移動塊(260)抵觸，所述移動塊(260)在兩個所述限位塊(113)之間移動。

6.根據權利要求1所述的一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，所述支撐腿(120)遠離所述固定板(110)的一面固定有底座(121)，所述底座(121)能夠與地面抵觸。

7.根據權利要求1所述的一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，所述第一安裝桶(310)遠離所述移動塊(260)的一面設置有若干鋼珠(312)，所述鋼珠(312)能夠與所述第二安裝桶(330)遠離所述工作臺(340)的一面抵觸。

8.根據權利要求1所述的一種離子注入機的硅片公轉盤，其特征在于，所述凹槽(341)的開口處設置有倒角(3411)。