[實(shí)用新型]一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022227921.5
• 申請(qǐng)日: 2020-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN213266690U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莫勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 重慶億博光電儀器有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/54
• 分類號(hào): C23C14/54;C23C14/24
• 代理公司: 重慶越利知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 50258
• 代理人: 熊恒定

1.一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置，包括真空爐(1)，其特征在于：所述真空爐(1)的內(nèi)部底表面設(shè)置有蒸發(fā)源(2)，所述真空爐(1)的一側(cè)內(nèi)壁設(shè)置有第一加熱器(3)，所述真空爐(1)的另一側(cè)內(nèi)壁設(shè)置有第二加熱器(4)，所述真空爐(1)的內(nèi)部上側(cè)位置設(shè)置有第三加熱器(5)，所述第一加熱器(3)、第二加熱器(4)和第三加熱器(5)上均等距設(shè)置有多個(gè)加熱管(10)，所述第三加熱器(5)的下方設(shè)置有基片(6)，所述真空爐(1)的內(nèi)壁對(duì)應(yīng)基片(6)的下表面后側(cè)設(shè)置有多個(gè)膜厚儀(7)，所述真空爐(1)的內(nèi)部頂表面設(shè)置有溫度感應(yīng)器(8)，所述真空爐(1)的外表面一側(cè)連接有控制器(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置，其特征在于：所述蒸發(fā)源(2)固定連接在真空爐(1)的內(nèi)部底表面中間位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置，其特征在于：所述第一加熱器(3)和第二加熱器(4)在真空爐(1)的內(nèi)部?jī)蓚?cè)呈相對(duì)設(shè)置，所述第一加熱器(3)和第二加熱器(4)的上端面高于基片(6)的底表面所在面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置，其特征在于：所述加熱管(10)在第一加熱器(3)和第二加熱器(4)上呈上下等距設(shè)置有多個(gè)，第一加熱器(3)和第二加熱器(4)上各所述加熱管(10)的一端均對(duì)應(yīng)連接有SCR(11)，所述SCR(11)對(duì)應(yīng)與控制器(9)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置，其特征在于：所述第三加熱器(5)的整體寬度設(shè)置大于基片(6)的寬度，所述加熱管(10)在第三加熱器(5)上呈水平等距設(shè)置有多個(gè)，第三加熱器(5)上各所述加熱管(10)的連接結(jié)構(gòu)與第一加熱器(3)和第二加熱器(4)上各加熱管(10)的連接結(jié)構(gòu)相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置，其特征在于：所述膜厚儀(7)在真空爐(1)的內(nèi)壁上呈水平等距設(shè)置有多個(gè)，且各個(gè)膜厚儀(7)與第三加熱器(5)上的加熱管(10)上下對(duì)應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍍膜機(jī)的控溫裝置，其特征在于：所述溫度感應(yīng)器(8)對(duì)應(yīng)與控制器(9)相連接，所述溫度感應(yīng)器(8)設(shè)置為PT100溫度傳感器。