[實用新型]一種長晶爐穩壓供氣裝置

有效

• 申請號: 202022221472.3
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN213394635U
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發明（設計）人: 吳殿瑞;李博;裴衛博
• 申請（專利權）人: 山東天岳先進科技股份有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01;F17C7/00
• 代理公司: 北京君慧知識產權代理事務所(普通合伙) 11716
• 代理人: 馮妙娜

本實用新型涉及一種長晶爐穩壓供氣裝置，該長晶爐穩壓供氣裝置，包括氣源；與氣源相連的主氣管；多個連接于主氣管上的支氣管，每個支氣管上設有第一減壓穩壓閥；穩壓系統，所述穩壓系統包括連接于氣源和靠近氣源的支氣管之間的第一氣瓶，所述第一氣瓶設于主氣管上，所述第一氣瓶的進氣管道上設有增壓閥，所述第一氣瓶的出氣管道上設有第二減壓穩壓閥。該長晶爐穩壓供氣裝置，可以在一根主管道盡量控制多臺設備情況下，盡量降低成本，并盡量保證每一個設備之間氣相穩定，減少設備之間的影響。

技術領域

本實用新型涉及長晶爐技術領域，尤其涉及一種長晶爐穩壓供氣裝置。

背景技術

長晶爐氣體的供應一直是關系到晶體生長的一個重要因素，氣體的供應，提供了晶體生長所必須的氣氛環境。目前大多數企業選擇的方案是通過高壓氣體直接輸送的方式供氣，但由于成本及施工難度原因，常由一個主管道輸送至車間，再在主管道上分接出直接連接設備的氣體管道，一般一個主管道負責10個及以上設備的供氣，然后由設備自帶閥門進行減壓供氣。這種供氣方式在某臺設備通氣狀態改變或檢修時，會影響到相同主管道的其他設備，導致氣相不穩定，進而影響長晶質量。特別是當串聯的設備增多或供氣不足時，則更加劇了設備之間的相互干擾。若每臺設備單獨供氣則資金花費巨大、且線路過于復雜不易維護。

實用新型內容

本實用新型為了彌補現有技術的不足，提供了一種長晶爐穩壓供氣裝置，可以在一根主管道盡量控制多臺設備情況下，盡量降低成本，并盡量保證每一個設備之間氣相穩定，減少設備之間的影響。

本實用新型為解決上述技術問題所采用的技術方案是：

一種長晶爐穩壓供氣裝置，包括氣源；

與氣源相連的主氣管；

多個連接于主氣管上的支氣管，每個支氣管上設有第一減壓穩壓閥；

穩壓系統，所述穩壓系統包括連接于氣源和靠近氣源的支氣管之間的第一氣瓶，所述第一氣瓶設于主氣管上，所述第一氣瓶的進氣管道上設有增壓閥，所述第一氣瓶的出氣管道上設有第二減壓穩壓閥。

可選的，所述穩壓系統還包括設于第二減壓穩壓閥和第一減壓穩壓閥之間的第二氣瓶。

可選的，所述第二氣瓶設于主氣管上。

可選的，所述第二氣瓶的進氣管道和出氣管道上還分別設有第一開關閥。

可選的，所述穩壓系統還包括連接于主氣管末端的第三氣瓶，所述支氣管連接于第二氣瓶和第三氣瓶之間的主氣管上。

可選的，所述第三氣瓶與所述支氣管之間的主氣管上還設有第二開關閥。

可選的，所述穩壓系統還包括連接于氣源和第二減壓穩壓閥之間的備用管，所述備用管與所述第一氣瓶并聯，所述備用管上設有第三開關閥；

第一氣瓶的出氣管道上還設有第三穩壓減壓閥或/和第四開關閥。

可選的，長晶爐穩壓供氣裝置還包括柜體，所述穩壓系統集成設置在所述柜體中。

可選的，所述第三開關閥或第四開關閥采用球閥。

可選的，第一氣瓶和氣源之間還設有第五開關閥。

長晶爐供氣裝置，在使用時，由于同時供氣個多個設備，必須保證供氣壓力，因此一般主氣管設置的比較細，如此，在改變供氣狀態時，對其他設備影響較大，影響長晶質量。本實用新型能產生的優異效果包括但不限于：

1、本申請，在供氣充足時，第一氣瓶可以儲存一部分氣體，之后氣體依次經過第二減壓穩壓閥、第一減壓穩壓閥，可以使得具有一定壓力的氣體比較平穩的達到長晶爐所需的氣體壓力和流量，此時，增壓閥可以設置為不起作用。