[實用新型]一種長晶爐穩壓供氣裝置有效
| 申請號： | 202022221472.3 | 申請日： | 2020-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN213394635U | 公開（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發明（設計）人： | 吳殿瑞;李博;裴衛博 | 申請（專利權）人： | 山東天岳先進科技股份有限公司 |
| 主分類號： | F17D1/02 | 分類號： | F17D1/02;F17D3/01;F17C7/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知識產權代理事務所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 馮妙娜 |
| 地址： | 250118 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 長晶爐 穩壓 供氣 裝置 | ||
1.一種長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，包括：
氣源；
與氣源相連的主氣管；
多個連接于主氣管上的支氣管，每個支氣管上設有第一減壓穩壓閥；
穩壓系統，所述穩壓系統包括連接于氣源和靠近氣源的支氣管之間的第一氣瓶，所述第一氣瓶設于主氣管上，所述第一氣瓶的進氣管道上設有增壓閥，所述第一氣瓶的出氣管道上設有第二減壓穩壓閥。
2.根據權利要求1所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，所述穩壓系統還包括設于第二減壓穩壓閥和第一減壓穩壓閥之間的第二氣瓶。
3.根據權利要求2所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，所述第二氣瓶設于主氣管上。
4.根據權利要求3所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，所述第二氣瓶的進氣管道和出氣管道上還分別設有第一開關閥。
5.根據權利要求1或2所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，所述穩壓系統還包括連接于主氣管末端的第三氣瓶，所述支氣管連接于第二氣瓶和第三氣瓶之間的主氣管上。
6.根據權利要求5所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，所述第三氣瓶與所述支氣管之間的主氣管上還設有第二開關閥。
7.根據權利要求1或3所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，所述穩壓系統還包括連接于氣源和第二減壓穩壓閥之間的備用管，所述備用管與所述第一氣瓶并聯，所述備用管上設有第三開關閥；
第一氣瓶的出氣管道上還設有第三穩壓減壓閥或/和第四開關閥。
8.根據權利要求7所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，長晶爐穩壓供氣裝置還包括柜體，所述穩壓系統集成設置在所述柜體中。
9.根據權利要求7所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，所述第三開關閥或第四開關閥采用球閥。
10.根據權利要求1所述的長晶爐穩壓供氣裝置，其特征在于，第一氣瓶和氣源之間還設有第五開關閥。
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