[實用新型]腔室開蓋機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022220921.2
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN212625527U
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馮琳
• 申請（專利權(quán)）人: 上海廣川科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 張印鐸;陳偉

本實用新型公開一種在半導體真空傳輸系統(tǒng)中方便開蓋的腔室開蓋機構(gòu)，包括：腔室主體；所述腔室主體具有容納腔室以及通入所述容納腔室的開口；可蓋合在所述開口上的蓋體；所述蓋體可轉(zhuǎn)動地連接所述腔室主體；具有第一連接端和第二連接端的氣體彈簧；所述第一連接端可轉(zhuǎn)動地連接所述腔室主體，所述第二連接端可轉(zhuǎn)動地連接所述蓋體；所述氣體彈簧在所述蓋體位于蓋合位置時處于壓縮狀態(tài)并向上頂?shù)炙錾w體。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導體真空傳輸系統(tǒng)領(lǐng)域，尤其涉及一種腔室開蓋機構(gòu)。

背景技術(shù)

在半導體真空傳輸系統(tǒng)中，為對真空設(shè)備進行維護調(diào)試，需要開蓋清潔腔體及機器人的內(nèi)部，移動機器人、機器人手臂或機器人末端執(zhí)行器等操作。一般真空傳輸設(shè)備處于多臺設(shè)備之間，周邊設(shè)備高于真空傳輸設(shè)備，進而被限制了可操作空間。

真空傳輸設(shè)備的蓋子直徑可達900毫米，重量可達30公斤，蓋子重，可操作空間小，對蓋子直接拆裝以及水平移動都不適合。

目前通常采用蓋鉸鏈進行定位，使得蓋子可以繞支點方向旋轉(zhuǎn)打開。通過手動操作提起蓋子，通過蓋子上的手柄，將蓋子提起到完全垂直的位置。再使用安全銷限位。但是因蓋子質(zhì)量大，開關(guān)蓋子比較費力，而且此過程中全程不可放手，如中途意外放手存在因蓋子自重而關(guān)閉，存在安全隱患，不僅夾傷操作人員，真空傳輸設(shè)備的密封面也會損傷，損傷設(shè)備。

另外，還有的蓋子使用轉(zhuǎn)動升降機頂部的手柄，通過轉(zhuǎn)動手輪，將蓋子旋轉(zhuǎn)到90度的位置。蓋子可以在轉(zhuǎn)動中途停止，但是這種開蓋方式因為齒輪的機械結(jié)構(gòu)，需要較大的安裝位置，而且內(nèi)部結(jié)構(gòu)為齒輪結(jié)構(gòu)，通過開關(guān)蓋子，齒輪產(chǎn)生摩擦，會產(chǎn)生一定量的污染粒子，制造成本較高。并且，這種開蓋方式會因為關(guān)閉蓋子的力度過大，密封圈受力擠壓過度導致變形損害。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述不足，本實用新型的一個目的是在半導體真空傳輸系統(tǒng)中提供一種方便開蓋的腔室開蓋機構(gòu)。

為達到上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：

一種腔室開蓋結(jié)構(gòu)，包括：

腔室主體；所述腔室主體具有容納腔室以及通入所述容納腔室的開口；

可蓋合在所述開口上的蓋體；所述蓋體可轉(zhuǎn)動地連接所述腔室主體；

具有第一連接端和第二連接端的氣體彈簧；所述第一連接端可轉(zhuǎn)動地連接所述腔室主體，所述第二連接端可轉(zhuǎn)動地連接所述蓋體；所述氣體彈簧在所述蓋體位于蓋合位置時處于壓縮狀態(tài)并向上頂?shù)炙錾w體。

作為一種優(yōu)選的實施方式，所述第二連接端在所述蓋體位于蓋合位置時的高度高于所述第一連接端。

作為一種優(yōu)選的實施方式，所述氣體彈簧為氮氣彈簧。

作為一種優(yōu)選的實施方式，所述氣體彈簧在所述蓋體位于蓋合位置時向上頂?shù)炙錾w體的作用力大于所述蓋體的重力。

作為一種優(yōu)選的實施方式，在未受外力的情況下，所述蓋體打開預定角度時所述氣體彈簧與所述蓋體處于力學平衡狀態(tài)，所述預定角度為10度-30度。

作為一種優(yōu)選的實施方式，所述腔室主體的上端固定設(shè)有基座；

所述蓋體上固定設(shè)有連接板；所述連接板的一端通過樞轉(zhuǎn)軸與所述基座可轉(zhuǎn)動地連接；所述第二連接端可轉(zhuǎn)動地連接所述連接板，所述第一連接端可轉(zhuǎn)動地連接所述基座。

作為一種優(yōu)選的實施方式，該腔室開蓋機構(gòu)還包括將所述蓋體限位在打開位置的限位件。

作為一種優(yōu)選的實施方式，所述蓋體在所述打開位置的打開角度在90度以上。

作為一種優(yōu)選的實施方式，所述限位件包括安全銷；所述安全銷在所述蓋體位于打開位置時插入所述基座和所述連接板將所述蓋體限位在所述打開位置。