[實(shí)用新型]一種適用于生產(chǎn)線的半導(dǎo)體晶片儲(chǔ)蓄花籃輸送裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202022220354.0 | 申請(qǐng)日： | 2020-09-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN213401130U | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-06-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊鵬飛;金華;楊黎明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 無(wú)錫市泰瑞電子設(shè)備制造有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/677 | 分類號(hào)： | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11467 | 代理人： | 季承 |
| 地址： | 214100 江*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 適用于 生產(chǎn)線 半導(dǎo)體 晶片 儲(chǔ)蓄 花籃 輸送 裝置 | ||
1.一種適用于生產(chǎn)線的半導(dǎo)體晶片儲(chǔ)蓄花籃輸送裝置，包括方形架(1)，所述方形架(1)包括橫向架(11)和豎向架(12)；其特征在于：包括X軸輸送單元(2)、Y軸輸送單元(3)和Z軸輸送單元(4)；
所述X軸輸送單元(2)用于帶動(dòng)所述Z軸輸送單元(4)沿X軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；
所述Y軸輸送單元(3)用于帶動(dòng)所述X軸輸送單元(2)沿Y軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；
所述Z軸輸送單元(4)用于帶動(dòng)設(shè)置在所述Z軸輸送單元(4)上的花籃卡爪(6)沿Z軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；
所述Y軸輸送單元(3)包括設(shè)置在所述橫向架(11)上的驅(qū)動(dòng)器(30)以及設(shè)置在所述橫向架(11)兩側(cè)的Y軸主動(dòng)輪(31)；所述Y軸從動(dòng)輪(32)設(shè)置在所述橫向架(11)遠(yuǎn)離所述驅(qū)動(dòng)器(30)一側(cè)；所述Y軸主動(dòng)輪(31)與所述Y軸從動(dòng)輪(32)間設(shè)有Y軸傳動(dòng)帶(53)；
所述X軸輸送單元(2)包括X軸桁架(21)以及設(shè)置在所述X軸桁架(21)上，可沿所述X軸桁架(21)往復(fù)運(yùn)動(dòng)的輸送基座(22)；
所述輸送基座(22)上設(shè)有可相對(duì)所述輸送基座(22)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)的Z軸輸送單元(4)；所述X軸桁架(21)兩端分別設(shè)有左基座(211)和右基座(212)；
所述左基座(211)上設(shè)有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(25)；所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(25)電機(jī)軸連接X(jué)軸主動(dòng)輪(251)；所述右基座(212)上設(shè)有X軸從動(dòng)輪(252)；所述X軸主動(dòng)輪(251)與所述X軸從動(dòng)輪(252)間設(shè)有X軸傳動(dòng)帶(52)；
所述輸送基座(22)上端面設(shè)有固定所述X軸傳動(dòng)帶(52)的鎖緊裝置；所述左基座(211)和右基座(212)上設(shè)有固定所述Y軸傳動(dòng)帶(53)的鎖緊裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于生產(chǎn)線的半導(dǎo)體晶片儲(chǔ)蓄花籃輸送裝置，其特征在于：所述花籃卡爪(6)包括機(jī)械手支撐板(61)和設(shè)置在所述機(jī)械手支撐板(61)兩側(cè)的伸縮裝置(62)；所述伸縮裝置(62)的推桿端連接花籃夾緊板(63)；所述花籃夾緊板(63)上設(shè)有匹配儲(chǔ)蓄花籃定位孔(91)的定位銷(630)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種適用于生產(chǎn)線的半導(dǎo)體晶片儲(chǔ)蓄花籃輸送裝置，其特征在于：所述Z軸輸送單元(4)包括上基板(411)和下基板(412)；
所述輸送基座(22)內(nèi)設(shè)有可供所述上基板(411)和下基板(412)穿過(guò)的通槽；所述輸送基座(22)下端面設(shè)有對(duì)接板(26)；
所述上基板(411)和下基板(412)間通過(guò)固定架(413)連接；
所述上基板(411)上端面設(shè)有絲桿驅(qū)動(dòng)電機(jī)(410)；所述絲桿驅(qū)動(dòng)電機(jī)(410)下端連接絲桿(421)；所述絲桿(421)上設(shè)有絲桿螺母(43)；所述絲桿螺母(43)連接所述對(duì)接板(26)；
所述下基板(412)上設(shè)有中空法蘭盤減速機(jī)(44)，所述中空法蘭盤減速機(jī)(44)的旋轉(zhuǎn)面連接所述機(jī)械手支撐板(61)，所述中空法蘭盤減速機(jī)(44)可驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械手支撐板(61)旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于生產(chǎn)線的半導(dǎo)體晶片儲(chǔ)蓄花籃輸送裝置，其特征在于：所述鎖緊裝置包括鎖緊壓板(51)和設(shè)置在所述鎖緊壓板(51)上的鎖緊螺栓(54)；所述鎖緊壓板(51)與輸送帶接觸面上設(shè)有匹配輸送帶上卡齒的波谷(511)和波峰(512)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于生產(chǎn)線的半導(dǎo)體晶片儲(chǔ)蓄花籃輸送裝置，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)器(30)通過(guò)連桿(33)驅(qū)動(dòng)所述X軸主動(dòng)輪(251)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
