[實用新型]一種芯片重新植球夾具有效
| 申請號: | 202022200117.8 | 申請日: | 2020-09-29 |
| 公開(公告)號: | CN213459654U | 公開(公告)日: | 2021-06-15 |
| 發明(設計)人: | 婁飛 | 申請(專利權)人: | 南通市萬泰精密模具有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L23/488 |
| 代理公司: | 蘇州瞪羚知識產權代理事務所(普通合伙) 32438 | 代理人: | 周治宇 |
| 地址: | 226500 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 重新 夾具 | ||
1.一種芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,包括:
鏤空底座(1),一面按陣列排布若干個芯片載臺(11),待植球的芯片(2)設置所述芯片載臺(11)上,所述鏤空底座(1)的另一面設置至少兩個磁鐵容置槽(12);
磁鐵,設置在所述磁鐵容置槽(12)內;以及
不銹鋼芯片蓋板(3),通過銷釘設置在所述鏤空底座(1)上,在所述不銹鋼芯片蓋板(3)上設置按陣列排布的芯片視窗(31),所述芯片視窗(31)的數量、位置與所述芯片載臺(11)的數量相同、位置相應。
2.根據權利要求1所述的芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,每個所述芯片載臺(11)包括四個共面的臺階(111),每兩個相鄰的所述臺階(111)的最小間距小于所述芯片(2)的寬度,每兩個相鄰的所述臺階(111)的最大間距小于所述芯片(2)的長度。
3.根據權利要求2所述的芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,所述臺階(111)所在平面離所述鏤空底座(1)上表面的距離等于所述芯片(2)的厚度。
4.根據權利要求2所述的芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,每個所述芯片載臺(11)設置四個流膠槽(112),相對的兩個流膠槽(112)的最小間距大于所述芯片(2)的寬度,相對的兩個流膠槽(112)的最大間距大于所述芯片(2)的長度。
5.根據權利要求4所述的芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,每個所述芯片載臺(11)中四個所述流膠槽(112)成軸對稱分布,四個所述臺階(111)成軸對稱分布,四個所述流膠槽(112)的對稱軸與四個所述臺階(111)的對稱軸相同。
6.根據權利要求1所述的芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,所述鏤空底座(1)上設第一限位孔(13),所述不銹鋼芯片蓋板(3)上設有第二限位孔(32),所述銷釘依次穿過所述第二限位孔(32)以及所述第一限位孔(13)將所述鏤空底座(1)以及所述不銹鋼芯片蓋板(3)連接。
7.根據權利要求1所述的芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,所述芯片視窗(31)的寬度小于所述芯片(2)的寬度,所述芯片視窗(31)的長度小于所述芯片(2)的長度。
8.根據權利要求1所述的芯片(2)重新植球夾具,其特征在于,所述鏤空底座(1)的一端還設有至少一個取放部(14)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





