[實用新型]MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構

有效

• 申請號: 202022199637.1
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN213513220U
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 賈昆良
• 申請（專利權）人: 靖江先鋒半導體科技有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02
• 代理公司: 靖江市靖泰專利事務所(普通合伙) 32219
• 代理人: 陳秀蘭

本實用新型公開了MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，包括設置為凸字形的下固定塊，下固定塊的凸臺與上固定塊的臺階孔相配合；所述的上固定塊的內表面設置有錐形面，錐形面與下固定塊的上端面之間設置有密封圈；下固定塊上端面與密封圈之間形成環形密封面；所述的上固定塊與下固定塊之間通過鎖緊螺絲相連接固定；所述的上固定塊上方設置有密封接頭，密封接頭與上固定塊之間通過對接管道相連接，密封接頭外部設置有螺母。優點是結構簡單，使用方便，能重復使用，大大降低了使用成本；且安裝快速便捷，通用程度高，密封效果好，不會對管體表面造成損傷；大大提高了對輸運管本體、焊縫或連接處存在的孔洞、裂紋或間隙等漏點檢測的效率。

技術領域

本實用新型涉及連接機構的領域，尤其涉及一種MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構。

背景技術

MOCVD設備的氣體輸運管都是不銹鋼管道；為了防止存儲效應，管內進行了電解拋光。管道的接頭用氫弧焊或VCR及Swagelok方式連接，并進行正壓檢漏及Snoop液體或He泄漏檢測，保證反應系統無泄漏是MOCVD設備組裝的關鍵之一。流量是由不同量程、響應時間快、精度高的質量流量計和電磁閥、氣動閥等來實現。在真空系統與反應室之間設有過濾器，以防油污或其它顆粒倒吸到反應室中。為了迅速變化反應室內的反應氣體，而且不引起反應室內壓力的變化，設置“run”和“vent”管道。因為MOCVD生長使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質，并且要生長多組分、大面積、薄層和超薄層異質材料。因此在MOCVD系統的設計思想上，通常要考慮系統密封性，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統要緊湊等。由于不銹鋼管道表面光滑且壁薄,無固定密封裝置,對本身缺陷或焊縫、機械連接處存在孔洞、裂紋或間隙等漏點檢測的效率過低；因此需要設計一種密封性能較好的連接機構。

發明內容

本實用新型目的是提供一種MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，結構簡單，穩定性好，使用方便，密封性能好；解決了以上技術問題。

為了實現上述技術目的，達到上述的技術要求，本實用新型所采用的技術方案是：MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，連接機構的一端與輸運管相連接固定，另一端與測漏儀相連接固定；其特征在于：包括設置為凸字形的下固定塊，下固定塊的凸臺與上固定塊的臺階孔相配合；所述的上固定塊的內表面設置有錐形面，錐形面與下固定塊的上端面之間設置有密封圈；下固定塊上端面與密封圈之間形成環形密封面；所述的上固定塊與下固定塊之間通過鎖緊螺絲相連接固定；所述的上固定塊上方設置有密封接頭，密封接頭與上固定塊之間通過對接管道相連接，密封接頭外部設置有螺母。

優選的：所述的鎖緊螺絲設置為三個，分別分布在上固定塊、下固定塊的圓弧角位置。

優選的：所述的密封圈的內徑與輸運管的外徑相等。

優選的：所述的對接管道與上固定塊之間設置為焊接連接。

優選的： 所述的螺母設置為VCR面密封內螺紋螺母。

本實用新型的有益效果；MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，結構簡單，使用方便，能重復使用，大大降低了使用成本；且安裝快速便捷，通用程度高，密封效果好，不會對管體表面造成損傷；大大提高了對輸運管本體、焊縫或連接處存在的孔洞、裂紋或間隙等漏點檢測的效率。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型具體實施例1示意圖；

在圖中：1.連接機構；2.輸運管；3.測漏儀；11.下固定塊；12.上固定塊；13.錐形面；14.密封圈；15.鎖緊螺絲；16.密封接頭；17.對接管道；18.螺母。

具體實施方式

為了使本實用新型的發明目的、技術方案及其有益技術效果更加清晰，以下結合附圖和具體實施方式，對本實用新型進行進一步詳細說明；