[實用新型]MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構

有效

• 申請號: 202022199637.1
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN213513220U
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 賈昆良
• 申請（專利權）人: 靖江先鋒半導體科技有限公司
• 主分類號: F17D5/02
• 分類號: F17D5/02
• 代理公司: 靖江市靖泰專利事務所(普通合伙) 32219
• 代理人: 陳秀蘭

1.MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，連接機構（1）的一端與輸運管（2）相連接固定，另一端與測漏儀（3）相連接固定；其特征在于：包括設置為凸字形的下固定塊（11），下固定塊（11）的凸臺與上固定塊（12）的臺階孔相配合；所述的上固定塊（12）的內表面設置有錐形面（13），錐形面（13）與下固定塊（11）的上端面之間設置有密封圈（14），下固定塊（11）上端面與密封圈（14）之間形成環形密封面；所述的上固定塊（12）與下固定塊（11）之間通過鎖緊螺絲（15）相連接固定；所述的上固定塊（12）上方設置有密封接頭（16），密封接頭（16）與上固定塊（12）之間通過對接管道（17）相連接，密封接頭（16）外部設置有螺母（18）。

2.根據權利要求1所述的MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，其特征在于：所述的鎖緊螺絲（15）設置為三個，分別分布在上固定塊（12）、下固定塊（11）的圓弧角位置。

3.根據權利要求1所述的MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，其特征在于：所述的密封圈（14）的內徑與輸運管（2）的外徑相等。

4.根據權利要求1所述的MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，其特征在于：所述的對接管道（17）與上固定塊（12）之間設置為焊接連接。

5.根據權利要求1所述的MOCVD裝置輸運管檢漏用連接機構，其特征在于：所述的螺母（18）設置為VCR面密封內螺紋螺母。