[實用新型]一種芯片切割清洗設備

有效

• 申請號: 202022199595.1
• 申請日: 2020-09-30
• 公開（公告）號: CN213470115U
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 馮冬華;馮冬香;向花蓮
• 申請（專利權）人: 深圳市晶燕微電子有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04;B23K37/047;B23K26/70;B08B13/00
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

本實用新型公開了一種芯片切割清洗設備，包括主板，所述主板的底部固定安裝有支撐板，所述槽板的底部內側活動套接有滑塊，所述主板遠離彎桿的一端活動安裝有轉桿，且轉桿的頂部固定安裝有噴水頭，所述主板的頂部固定安裝有固定板，且固定板的中部位置內側活動安裝有轉軸，所述固定板的內側活動套接有插銷，所述轉軸遠離固定板的一端固定安裝有轉板，所述轉板的內側開設有與插銷相適配的空腔。通過在轉板的內側安裝有金屬材質的彈片，能夠將芯片夾緊，在固定板的內側活動安裝有轉軸，而轉軸遠離固定板的一端與轉板固定連接，使得在將芯片安裝在轉板上時，通過轉動轉板，能夠實現芯片進行翻轉加工背面，且能夠方便清洗背面。

技術領域

本實用新型涉及芯片制造領域，具體為一種芯片切割清洗設備。

背景技術

對芯片進行切割時，需要先對其進行固定，不僅固定繁瑣且固定效果不佳，在固定后無法進行翻轉對芯片的背面進行切割清洗，導致在加工時需要在加工一面后，拆卸才能翻轉，導致工期的延長。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種芯片切割清洗設備，解決了對芯片進行切割時，需要先對其進行固定，不僅固定繁瑣且固定效果不佳，在固定后無法進行翻轉對芯片的背面進行切割清洗，導致在加工時需要在加工一面后，拆卸才能翻轉，導致工期的延長的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案予以實現：一種芯片切割清洗設備，包括主板，所述主板的底部固定安裝有支撐板，且支撐板的底部固定安裝有墊板，所述主板的內側活動套接有彎桿，且彎桿的頂部固定安裝有槽板，所述槽板的底部內側活動套接有滑塊，且滑塊的底部固定安裝有激光頭，所述主板遠離彎桿的一端活動安裝有轉桿，且轉桿的頂部固定安裝有噴水頭，所述主板的表面開設有排水槽，且排水槽呈匚形結構，所述主板的頂部固定安裝有固定板，且固定板的中部位置內側活動安裝有轉軸，所述固定板的內側活動套接有插銷，所述轉軸遠離固定板的一端固定安裝有轉板，所述轉板的內側開設有與插銷相適配的空腔。

優選的，所述轉板的內側固定安裝有彈片，且彈片的材質為金屬。

優選的，所述主板的內側螺紋套接有螺絲，且螺絲處于彎桿靠近主板外壁的一端。

優選的，所述彎桿為彎折結構，且彎折角度為90°。

優選的，所述插銷處于固定板外側的一端固定安裝有拉環。

優選的，所述彎桿垂直于主板的部分外側固定安裝有刻度尺。

(三)有益效果

本實用新型提供了一種芯片切割清洗設備。具備以下有益效果：

1、該芯片切割清洗設備，通過在主板的內側活動套接有彎桿，并在主板的內側螺紋套接有螺絲，且由于彎桿的外側固定安裝有刻度尺，從而能夠調節彎桿的高度，在將芯片放置在轉板的表面進行切割時，從而實現調節激光頭與芯片之間的距離。

2、該芯片切割清洗設備，通過在轉板的內側安裝有金屬材質的彈片，能夠將芯片夾緊，在固定板的內側活動安裝有轉軸，而轉軸遠離固定板的一端與轉板固定連接，使得在將芯片安裝在轉板上時，通過轉動轉板，能夠實現芯片進行翻轉加工背面，且能夠方便清洗背面。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型主板結構俯視圖；

圖3為本實用新型圖2中A處示意圖。

圖中：1、主板；2、支撐板；3、墊板；4、彎桿；5、槽板；6、滑塊；7、激光頭；8、轉桿；9、噴水頭；10、固定板；11、刻度尺；12、螺絲；13、排水槽；14、轉軸；15、轉板；16、插銷；17、空腔；18、彈片；19、拉環。