[實(shí)用新型]一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022191726.1
• 申請日: 2020-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN212874426U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊光宇
• 申請（專利權(quán)）人: 銳捷芯盛（天津）電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/317
• 分類號(hào): H01J37/317;H01L21/677
• 代理公司: 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11684
• 代理人: 周慶路

本實(shí)用新型提供了一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，屬于基板技術(shù)領(lǐng)域。該離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)包括基板傳輸裝置本體、基板固定組件和基板本體。所述基板固定組件包括支撐板、兩個(gè)固定桿件、安裝板、第一夾緊件、第二夾緊件和兩個(gè)碰珠件，所述第一夾緊件包括第一固定板、第二固定板、壓板、滑桿和壓緊螺桿。通過第一夾緊件和第二夾緊件固定基板本體，當(dāng)基板本體側(cè)壁受外力時(shí)，形成簡支梁的受力形式，減少單個(gè)連接處的受力，同時(shí)減少連接處的扭矩，進(jìn)而有效的改善當(dāng)基板側(cè)壁受外力碰撞時(shí)，現(xiàn)有的基板輸送裝置上基板和基板固定結(jié)構(gòu)連接處受力較大的問題，減少基板側(cè)壁受外力碰撞，折斷損壞的情況。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及基板領(lǐng)域，具體而言，涉及一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體基板制造過程中包括引入不純物形成摻雜的工藝，所引入的不純物成分會(huì)與半導(dǎo)體物質(zhì)適當(dāng)結(jié)合形導(dǎo)電體，從而改變半導(dǎo)體物質(zhì)的導(dǎo)電率，把摻雜劑導(dǎo)入到半導(dǎo)體基板的通常的方法就是離子注入，離子注入是利用離子能夠穿過固體表面的巨大能量，將不純物原子注入到表面內(nèi)，形成不純物層的工序，離子注入機(jī)能在固體表面上調(diào)節(jié)離子射束能量、離子射束質(zhì)量、離子射束電荷量及注入深度等注入工序中的重要參數(shù)，能夠準(zhǔn)確控制不純物的原子數(shù)和調(diào)節(jié)結(jié)合深度，離子注入后一般要進(jìn)行高溫?zé)崽幚恚韵x子注入時(shí)的損傷，并對注入的不純物進(jìn)行活性化，調(diào)節(jié)不純物成分的分布形狀，減少側(cè)面擴(kuò)散，保障其均勻性，目前，基板的傳輸通過基板輸送裝置配合軌道進(jìn)行，而基板連接于基板輸送裝置上的基板固定結(jié)構(gòu)，固定處僅有基板底端，當(dāng)安裝和運(yùn)輸基板過程中，基板側(cè)壁受外力碰撞，基板的受力為懸臂式，使基板和基板固定結(jié)構(gòu)連接處受力較大，進(jìn)而容易造成基板的折斷損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了彌補(bǔ)以上不足，本實(shí)用新型提供了一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，旨在改善當(dāng)基板側(cè)壁受外力碰撞時(shí)，現(xiàn)有的基板輸送裝置上基板和基板固定結(jié)構(gòu)連接處受力較大的問題。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)包括基板傳輸裝置本體、基板固定組件和基板本體。

所述基板固定組件包括支撐板、兩個(gè)固定桿件、安裝板、第一夾緊件、第二夾緊件和兩個(gè)碰珠件，所述支撐板固定連接于所述基板傳輸裝置本體上端，兩個(gè)所述固定桿件分別固定連接于所述支撐板兩端的上側(cè)，所述固定桿件上端開設(shè)有卡槽，所述安裝板兩端分別滑動(dòng)套接于兩個(gè)所述固定桿件，兩個(gè)所述碰珠件分別固定連接于所述安裝板兩端的上側(cè)，所述碰珠件一端能夠插入所述卡槽，所述第一夾緊件包括第一固定板、第二固定板、壓板、滑桿和壓緊螺桿，所述第一固定板和所述第二固定板分別固定連接于所述支撐板上側(cè)，所述第一固定板和所述第二固定板對應(yīng)設(shè)置，所述滑桿分別固定連接于所述壓板一側(cè)的兩端，所述滑桿滑動(dòng)插接于所述第二固定板，所述壓緊螺桿螺紋插接于所述第二固定板，所述壓緊螺桿壓緊于所述壓板，所述第一夾緊件和所述第二夾緊件結(jié)構(gòu)相同，所述第二夾緊件固定連接于所述安裝板下側(cè)，所述基板本體兩端分別位于所述第一夾緊件和所述第二夾緊件內(nèi)，所述壓板將所述基板本體壓緊于所述第一固定板。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，所述固定桿件包括固定桿和固定套接于所述固定桿上端的擋板，所述擋板能夠擋住所述安裝板。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，所述壓板包括板體和固定連接于所述板體一側(cè)的第一緩沖墊。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，所述第一緩沖墊遠(yuǎn)離所述板體一側(cè)均勻設(shè)置有第一防滑條。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，所述壓緊螺桿包括桿體和固定連接于所述桿體一端的轉(zhuǎn)動(dòng)部。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部周邊均勻設(shè)置有第二防滑條。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，所述碰珠件包括安裝套和螺紋插接于所述安裝套內(nèi)的碰珠。

在本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中，所述支撐板上側(cè)兩端和所述安裝板下側(cè)兩端分別固定連接有定位件。