[實(shí)用新型]一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022191726.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-29
• 公開（公告）號(hào): CN212874426U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊光宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 銳捷芯盛（天津）電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/317
• 分類號(hào): H01J37/317;H01L21/677
• 代理公司: 北京沁優(yōu)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11684
• 代理人: 周慶路

1.一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括

基板傳輸裝置本體(100)；

基板固定組件(200)，所述基板固定組件(200)包括支撐板(210)、兩個(gè)固定桿件(220)、安裝板(230)、第一夾緊件(240)、第二夾緊件(250)和兩個(gè)碰珠件(260)，所述支撐板(210)固定連接于所述基板傳輸裝置本體(100)上端，兩個(gè)所述固定桿件(220)分別固定連接于所述支撐板(210)兩端的上側(cè)，所述固定桿件(220)上端開設(shè)有卡槽，所述安裝板(230)兩端分別滑動(dòng)套接于兩個(gè)所述固定桿件(220)，兩個(gè)所述碰珠件(260)分別固定連接于所述安裝板(230)兩端的上側(cè)，所述碰珠件(260)一端能夠插入所述卡槽，所述第一夾緊件(240)包括第一固定板(241)、第二固定板(242)、壓板(243)、滑桿(244)和壓緊螺桿(245)，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)分別固定連接于所述支撐板(210)上側(cè)，所述第一固定板(241)和所述第二固定板(242)對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述滑桿(244)分別固定連接于所述壓板(243)一側(cè)的兩端，所述滑桿(244)滑動(dòng)插接于所述第二固定板(242)，所述壓緊螺桿(245)螺紋插接于所述第二固定板(242)，所述壓緊螺桿(245)壓緊于所述壓板(243)，所述第一夾緊件(240)和所述第二夾緊件(250)結(jié)構(gòu)相同，所述第二夾緊件(250)固定連接于所述安裝板(230)下側(cè)；

基板本體(300)，所述基板本體(300)兩端分別位于所述第一夾緊件(240)和所述第二夾緊件(250)內(nèi)，所述壓板(243)將所述基板本體(300)壓緊于所述第一固定板(241)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述固定桿件(220)包括固定桿(221)和固定套接于所述固定桿(221)上端的擋板(222)，所述擋板(222)能夠擋住所述安裝板(230)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓板(243)包括板體(2431)和固定連接于所述板體(2431)一側(cè)的第一緩沖墊(2432)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一緩沖墊(2432)遠(yuǎn)離所述板體(2431)一側(cè)均勻設(shè)置有第一防滑條(2433)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓緊螺桿(245)包括桿體(2451)和固定連接于所述桿體(2451)一端的轉(zhuǎn)動(dòng)部(2452)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部(2452)周邊均勻設(shè)置有第二防滑條(2453)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述碰珠件(260)包括安裝套(261)和螺紋插接于所述安裝套(261)內(nèi)的碰珠(262)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述支撐板(210)上側(cè)兩端和所述安裝板(230)下側(cè)兩端分別固定連接有定位件(270)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定位件(270)包括第一定位板(271)和第二定位板(272)，所述第一定位板(271)和所述第二定位板(272)分別固定連接于所述支撐板(210)和所述安裝板(230)，所述第一定位板(271)和所述第二定位板(272)對(duì)應(yīng)設(shè)置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種離子注入機(jī)的基板傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一定位板(271)側(cè)壁固定連接有第二緩沖墊(273)。