[實用新型]一種水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構

有效

• 申請號: 202022188965.1
• 申請日: 2020-09-29
• 公開（公告）號: CN213546300U
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 杜振波;范尚青;林萃萍;吳儒雅;邱瑞玲
• 申請（專利權）人: 廈門諾珩科技有限公司
• 主分類號: H01L23/04
• 分類號: H01L23/04;H01L23/10;H01L23/16;H01L23/18;H01L23/473;G01D11/24;C03C29/00
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 連耀忠;李艾華

1.一種水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構，其特征在于，包括：第一金屬保護殼、第二金屬保護殼、金屬套管、金屬引針和封接玻璃；所述第一金屬保護殼和所述第二金屬保護殼用于封裝芯片，且所述第一金屬保護殼設置在所述第二金屬保護殼外部；所述第一金屬保護殼和所述第二金屬保護殼通過所述金屬套管相連接以形成中空腔體；所述中空腔體內存儲有冷卻水；所述金屬引針從所述芯片引出且穿過所述第一金屬保護殼和所述第二金屬保護殼；所述金屬引針和所述金屬套管通過所述封接玻璃進行氣密性封接。

2.根據權利要求1所述的水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構，其特征在于，所述第一金屬保護殼上設置有冷卻水進水口和冷卻水出水口。

3.根據權利要求2所述的水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構，其特征在于，還包括設置在所述第一金屬保護外殼內壁的冷卻水出水管；所述冷卻水出水管與所述冷卻水出水口相連接，所述冷卻水出水管的頂部高于所述冷卻水進水口。

4.根據權利要求1所述的水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構，其特征在于，所述封接玻璃的封接溫度為600-1000℃。

5.根據權利要求1所述的水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構，其特征在于，所述封接玻璃的熱膨脹系數大于等于所述金屬引針的熱膨脹系數，且小于等于所述第一金屬保護殼和所述第二金屬保護殼的熱膨脹系數。

6.根據權利要求1所述的水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構，其特征在于，還包括帶螺紋外殼；所述第一金屬保護殼通過所述帶螺紋外殼與基座相連接。

7.根據權利要求1所述的水冷式氣密性玻璃-金屬封接結構，其特征在于，還包括器件蓋板；所述器件蓋板設置在所述第一金屬保護殼上方。