[實(shí)用新型]單晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022171892.5
• 申請(qǐng)日: 2020-09-28
• 公開（公告）號(hào): CN212707458U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊歡歡;王海洋;高穩(wěn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 晶海洋半導(dǎo)體材料（東海）有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00
• 代理公司: 連云港潤(rùn)知專利代理事務(wù)所 32255
• 代理人: 王彥明

本實(shí)用新型公開了單晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置，包括機(jī)架，機(jī)架頂部一側(cè)固定安裝有直線導(dǎo)軌，直線導(dǎo)軌內(nèi)部固定安裝有絲杠，絲杠套設(shè)有滑塊，滑塊的頂部固定安裝有移動(dòng)夾具，機(jī)架頂部在遠(yuǎn)離移動(dòng)夾具的一側(cè)固定安裝有固定夾具，機(jī)架頂部在靠近固定夾具的一側(cè)固定安裝有角度測(cè)量?jī)x，機(jī)架內(nèi)部一側(cè)固定安裝有電機(jī)，機(jī)架內(nèi)部在靠近電機(jī)頂部一側(cè)固定安裝有轉(zhuǎn)軸，電機(jī)的輸出軸套設(shè)有主動(dòng)齒輪，轉(zhuǎn)軸套設(shè)有傳動(dòng)齒輪，絲杠在遠(yuǎn)離滑塊的一側(cè)套設(shè)有從動(dòng)齒輪。該種單晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，操作方便，有效解決了現(xiàn)有多數(shù)角度測(cè)量裝置缺少自動(dòng)裝夾裝置和自動(dòng)校正裝置的問題，具有廣泛推廣使用的價(jià)值。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及角度檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體為單晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

單晶硅棒是通過區(qū)熔或直拉工藝在爐膛中整形或提拉形成的硅單晶體棒。這種單晶硅棒需要進(jìn)行切斷，在切割的過程中不可避免的會(huì)在切割面形成一定的角度，當(dāng)角度超過允許范圍時(shí)，則需要調(diào)整切割機(jī)器，在這個(gè)過程中需要用到晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置。但是現(xiàn)有多數(shù)單晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置還有以下不足：1.不能自動(dòng)自動(dòng)裝夾，需要人工手動(dòng)裝夾，極大的增加了勞動(dòng)強(qiáng)度，且影響生產(chǎn)效率；2.檢測(cè)裝置缺少自動(dòng)校正裝置，使用一段時(shí)間后需要人為檢查校正；因此我們對(duì)此做出改進(jìn)，提出單晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了如下的技術(shù)方案：

本實(shí)用新型單晶硅棒切割面角度檢測(cè)裝置，包括機(jī)架，所述機(jī)架頂部一側(cè)固定安裝有直線導(dǎo)軌，所述直線導(dǎo)軌內(nèi)部固定安裝有絲杠，所述絲杠套設(shè)有滑塊，所述滑塊的頂部固定安裝有移動(dòng)夾具，所述機(jī)架頂部在遠(yuǎn)離移動(dòng)夾具的一側(cè)固定安裝有固定夾具，所述機(jī)架頂部在靠近固定夾具的一側(cè)固定安裝有角度測(cè)量?jī)x，所述機(jī)架內(nèi)部一側(cè)固定安裝有電機(jī)，所述機(jī)架內(nèi)部在靠近電機(jī)頂部一側(cè)固定安裝有轉(zhuǎn)軸，所述電機(jī)的輸出軸套設(shè)有主動(dòng)齒輪，所述轉(zhuǎn)軸套設(shè)有傳動(dòng)齒輪，所述絲杠在遠(yuǎn)離滑塊的一側(cè)套設(shè)有從動(dòng)齒輪，所述從動(dòng)齒輪、傳動(dòng)齒輪和主動(dòng)齒輪相互嚙合傳動(dòng)連接。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述移動(dòng)夾具和固定夾具均包括固定底座，所述固定底座的頂部固定安裝有固定柱，所述固定柱的一側(cè)固定安裝有伸縮桿，所述伸縮桿的另一側(cè)固定安裝有定位器，所述伸縮桿的活塞桿頂部一側(cè)固定安裝有夾頭。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述伸縮桿設(shè)置有三個(gè)活塞桿且均勻布置在同一平面內(nèi)，所述伸縮桿為電動(dòng)伸縮桿或氣動(dòng)伸縮桿。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述夾頭外側(cè)套設(shè)有防護(hù)套，所述防護(hù)套為橡膠材質(zhì)，且防護(hù)套的表面設(shè)有防滑紋理。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述角度測(cè)量?jī)x包括安裝座，所述安裝座的頂部固定安裝有立柱，所述立柱頂部一側(cè)固定安裝有顯示器，所述立柱頂部在遠(yuǎn)離顯示器的一側(cè)固定安裝有測(cè)量相機(jī)。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述直線導(dǎo)軌的頂部固定安裝有防塵罩，且所述防塵罩為柔性風(fēng)琴防塵罩。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述安裝座和固定底座內(nèi)部均設(shè)置有通孔，所述通孔內(nèi)部均貫穿有螺栓，所述安裝座通過螺栓固定安裝在機(jī)架頂部，所述移動(dòng)夾具的固定底座通過螺栓固定安裝在滑塊的頂部，所述固定夾具的固定底座通過螺栓固定安裝在機(jī)架頂部。

作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述機(jī)架在靠近電機(jī)的一側(cè)固定安裝有散熱百葉窗，且所述散熱百葉窗設(shè)置有若干切斜向下的導(dǎo)風(fēng)板。