[實用新型]單晶硅棒切割面角度檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022171892.5
• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN212707458U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設計）人: 樊歡歡;王海洋;高穩(wěn)
• 申請（專利權）人: 晶海洋半導體材料（東海）有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 連云港潤知專利代理事務所 32255
• 代理人: 王彥明

1.一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，包括機架(1)，其特征在于，所述機架(1)頂部一側固定安裝有直線導軌(2)，所述直線導軌(2)內部固定安裝有絲杠(9)，所述絲杠(9)套設有滑塊(10)，所述滑塊(10)的頂部固定安裝有移動夾具(4)，所述機架(1)頂部在遠離移動夾具(4)的一側固定安裝有固定夾具(5)，所述機架(1)頂部在靠近固定夾具(5)的一側固定安裝有角度測量儀(6)，所述機架(1)內部一側固定安裝有電機(8)，所述機架(1)內部在靠近電機(8)頂部一側固定安裝有轉軸(3)，所述電機(8)的輸出軸套設有主動齒輪(23)，所述轉軸(3)套設有傳動齒輪(22)，所述絲杠(9)在遠離滑塊(10)的一側套設有從動齒輪(11)，所述從動齒輪(11)、傳動齒輪(22)和主動齒輪(23)相互嚙合傳動連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述移動夾具(4)和固定夾具(5)均包括固定底座(16)，所述固定底座(16)的頂部固定安裝有固定柱(17)，所述固定柱(17)的一側固定安裝有伸縮桿(18)，所述伸縮桿(18)的另一側固定安裝有定位器(20)，所述伸縮桿(18)的活塞桿頂部一側固定安裝有夾頭(19)。

3.根據(jù)權利要求2所述的一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述伸縮桿(18)設置有三個活塞桿且均勻布置在同一平面內，所述伸縮桿(18)為電動伸縮桿或氣動伸縮桿。

4.根據(jù)權利要求2所述的一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述夾頭(19)外側套設有防護套，所述防護套為橡膠材質，且防護套的表面設有防滑紋理。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述角度測量儀(6)包括安裝座(12)，所述安裝座(12)的頂部固定安裝有立柱(13)，所述立柱(13)頂部一側固定安裝有顯示器(14)，所述立柱(13)頂部在遠離顯示器(14)的一側固定安裝有測量相機(15)。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述直線導軌(2)的頂部固定安裝有防塵罩(7)，且所述防塵罩(7)為柔性風琴防塵罩。

7.根據(jù)權利要求5所述的一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述安裝座(12)和固定底座(16)內部均設置有通孔，所述通孔內部均貫穿有螺栓，所述安裝座(12)通過螺栓固定安裝在機架(1)頂部，所述移動夾具(4)的固定底座(16)通過螺栓固定安裝在滑塊(10)的頂部，所述固定夾具(5)的固定底座(16)通過螺栓固定安裝在機架(1)頂部。

8.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶硅棒切割面角度檢測裝置，其特征在于，所述機架(1)在靠近電機(8)的一側固定安裝有散熱百葉窗(21)，且所述散熱百葉窗(21)設置有若干切斜向下的導風板。