[實用新型]一種包含多種校準類型的晶圓標準樣板

有效

• 申請號: 202022169212.6
• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN213750299U
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 蔣莊德;張雅馨;王琛英;景蔚萱;林啟敬;張易軍;張亮亮;高崐;李磊;毛琦;王松;牛忠楠
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00;G03F7/20
• 代理公司: 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319
• 代理人: 茍冬梅

1.一種包含多種校準類型的晶圓標準樣板，其特征在于，包括：基底(6)，所述基底(6)上設置有指引區域(1)與校準區域(2)；

所述指引區域(1)包括：指引圖案(4)與至少兩個凹坑(5)；

所述校準區域(2)包括：與每個凹坑(5)配套的標準樣板(3)，所述標準樣板(3)安裝于所述凹坑(5)上；

所述指引圖案(4)設置于所述凹坑(5)周圍，用于在測量儀器對所述標準樣板(3)進行定位時，對所述測量儀器的定位起到指示作用。

2.根據權利要求1所述的晶圓標準樣板，其特征在于，不同的凹坑(5)周圍設置不同的指引圖案(4)。

3.根據權利要求1所述的晶圓標準樣板，其特征在于，所述凹坑(5)的內側壁設置有若干抵觸部(7)，所述若干抵觸部(7)凸出于所述凹坑(5)的內側壁，所述若干抵觸部(7)遠離所述凹坑(5)的內側壁的一端分別與所述標準樣板(3)的側壁抵觸，以對所述標準樣板(3)進行定位。

4.根據權利要求3所述的晶圓標準樣板，其特征在于，所述至少兩個凹坑(5)內側壁未設置有所述抵觸部(7)的位置，與所述標準樣板(3)的側壁之間具有間隙(9)。

5.根據權利要求1所述的晶圓標準樣板，其特征在于，所述凹坑(5)的深度大于或等于所述標準樣板(3)的厚度。

6.根據權利要求1所述的晶圓標準樣板，其特征在于，所述凹坑(5)在所述基底(6)上的分布方式根據所述凹坑(5)的數量確定：

在所述凹坑(5)的數量為兩個時，兩個所述凹坑(5)對稱設置于所述基底(6)的軸線上；

在所述凹坑(5)的數量為三個時，三個所述凹坑(5)分別等間隔分布于以所述基底(6)中心點為中心的一等邊三角形的三個頂角處，或三個所述凹坑(5)等間隔分布于所述基底(6)的軸線上，其中，三個所述凹坑(5)中的一個凹坑(5)位于所述基底(6)的中心處；

在所述凹坑(5)的數量為四個時，所述凹坑(5)分別等間隔地分布在以所述基底(6)為中心的一正方形的四個頂角處；

在所述凹坑(5)的數量為五個時，五個所述凹坑(5)中的一個凹坑(5)位于所述基底(6)的中心處，五個所述凹坑(5)中的四個凹坑(5)等間隔均勻分布于所述一個凹坑(5)的周圍。

7.根據權利要求1所述的晶圓標準樣板，其特征在于，所述基底(6)上設置有樣板規格(8)，所述樣板規格(8)設置于所述標準樣板(3)周圍，其中，不同的所述標準樣板(3)對應不同的所述樣板規格(8)。