[實用新型]一種用于懸臂梁式微開關最大粘附壓力的檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022167613.8
• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN214121823U
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發(fā)明（設計）人: 郝秀春;李繼豐
• 申請（專利權）人: 江蘇昊微納科技服務有限公司
• 主分類號: G01N3/08
• 分類號: G01N3/08;G01N3/06;G01M13/00
• 代理公司: 常州市夏成專利事務所(普通合伙) 32233
• 代理人: 姜佩娟

1.一種用于懸臂梁式微開關最大粘附壓力的檢測裝置，其特征在于，包括微動平臺(501)，彈性梁(502)，柔性探頭(503)，精密電子天平(504)，負載(505)，直流電壓源(506)，電流表(507)，試件(508)；

所述彈性梁(502)的一端固定在微動平臺(501)上，彈性梁(502)的自由端部底下設有柔性探頭(503)，彈性梁(502)的自由端部上方放置負載(505)，試件(508)置于精密電子天平(504)上，直流電壓源(506)為試件(508)提供直流電壓，改變外加負載(505)，電流表(507)記錄電流變化，對于給定的電壓，粘附通過電流和外加負載(505)的關系來測量。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于懸臂梁式微開關最大粘附壓力的檢測裝置，其特征在于，柔性探頭(503)固定在彈性梁(502)的自由端部底下，通過微動平臺(501)調(diào)節(jié)位置，使柔性探頭(503)和試件(508)剛剛接觸，然后加負載測試。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于懸臂梁式微開關最大粘附壓力的檢測裝置，其特征在于，所述微動平臺(501)為三自由度微動平臺(501)。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于懸臂梁式微開關最大粘附壓力的檢測裝置，其特征在于，所述試件(508)為微懸臂梁芯片。