[實用新型]一種砷化鎵晶片表面清洗工裝

有效

• 申請號: 202022164115.8
• 申請日: 2020-09-28
• 公開（公告）號: CN213826085U
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 卜俊鵬
• 申請（專利權）人: 浙江康鵬半導體有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種砷化鎵晶片表面清洗工裝，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的頂部固定安裝有數量為兩個的支撐板(2)，所述支撐板(2)的頂部固定安裝有頂板(3)，所述底板(1)的頂部且位于兩個支撐板(2)之間固定安裝有清洗池(4)，所述底板(1)的頂部且位于右側支撐板(2)的右側固定安裝有支撐座(5)，所述支撐座(5)的頂部固定安裝有第一電機(6)，所述第一電機(6)的輸出軸處固定安裝有貫穿支撐板(2)并延伸至清洗池(4)內部的轉桿(7)，所述清洗池(4)的內壁左側活動安裝有連桿(9)，所述轉桿(7)與連桿(9)之間固定安裝有固定板(8)，所述固定板(8)的前側固定安裝有數量為兩個的U型架(10)，所述U型架(10)的內壁底部固定安裝有弧形板(11)，所述U型架(10)的內壁左右兩側均固定安裝有固定盒(12)，所述固定盒(12)的內部固定安裝有彈簧(13)，所述彈簧(13)遠離固定盒(12)的一端固定安裝有卡塊(14)，所述卡塊(14)遠離固定盒(12)的一側開設有卡槽(15)，左右兩側所述卡槽(15)之間放置有晶片(16)，右側所述支撐板(2)的右側固定安裝有橫板(17)，右側所述支撐板(2)的右側且位于橫板(17)的上方固定安裝有套筒(18)，所述套筒(18)的內部活動安裝有貫穿右側支撐板(2)的活動桿(19)，所述頂板(3)的頂部固定安裝有貫穿頂板(3)且與活動桿(19)固定連接的噴灑組件(20)，所述橫板(17)的頂部后側固定安裝有第二電機(21)，所述第二電機(21)的輸出軸處固定安裝有轉盤(22)，所述轉盤(22)的前側固定安裝有轉動頭(23)，所述轉動頭(23)的外側套接有上下兩端分別與橫板(17)和活動桿(19)活動連接的轉動桿(24)。

2.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶片表面清洗工裝，其特征在于：所述噴灑組件(20)由水箱、噴水管、分流管、連接塊和噴頭組成，所述頂板(3)的頂部固定安裝有水箱，所述活動桿(19)的底部固定安裝有連接塊，所述連接塊的底部固定安裝有分流管，所述水箱的左側固定安裝有貫穿頂板(3)且與分流管連通的噴水管，所述分流管的底部固定安裝有噴頭。

3.根據權利要求2所述的一種砷化鎵晶片表面清洗工裝，其特征在于：所述水箱的頂部開設有進液口，所述噴頭的數量有兩個且呈左右對稱分布。

4.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶片表面清洗工裝，其特征在于：所述清洗池(4)的左側固定安裝有貫穿左側支撐板(2)的排水管，所述排水管的內部活動安裝有止水閥。

5.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶片表面清洗工裝，其特征在于：兩個所述U型架(10)呈左右對稱分布，所述晶片(16)的底部與弧形板(11)貼合，所述固定板(8)為網孔狀。

6.根據權利要求1所述的一種砷化鎵晶片表面清洗工裝，其特征在于：所述套筒(18)的內部為光滑設計，所述活動桿(19)的外側為光滑設計，所述轉動桿(24)的頂部與底部均通過連接軸分別與活動桿(19)和橫板(17)活動連接。