[實用新型]一種靶材環件安裝結構

有效

• 申請號: 202022163348.6
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN213895982U
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;馮周瑜
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種靶材環件安裝結構，其特征在于，所述安裝結構包括環件本體、環件本體配件、內配合組件、外配合組件、固定件和濺射設備配件，所述環件本體配件固定于環件本體的外壁上，所述濺射設備配件環繞設置于環件本體的外側，所述濺射設備配件上設有通孔；

所述內配合組件設置于環件本體配件與濺射設備配件之間，一端與環件本體配件接觸，另一端呈凹陷結構，不超過濺射設備配件上的通孔，所述外配合組件的一端呈凸出結構，所述凸出結構穿過濺射設備配件的通孔與內配合組件中凹陷結構的一端組合；

所述內配合組件和外配合組件均為貫穿空心結構，所述固定件貫穿內配合組件和外配合組件將兩者固定。

2.根據權利要求1所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述環件本體為鈦環或鉭環；

所述環件本體配件的材質與環件本體相同。

3.根據權利要求1所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述環件本體的厚度為2.9～5.5mm。

4.根據權利要求1所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述環件本體配件包括與環件本體相連的底部結構、凸出于所述底部結構的側壁結構以及設置于底部結構中間位置的連接部，所述側壁結構環繞連接部；

所述環件本體配件的連接部端面上設有凹槽，所述凹槽的側壁設有螺紋。

5.根據權利要求4所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述內配合組件與環件本體配件接觸的一端中，端面與環件本體配件的底部結構接觸，側面與環件本體配件側壁結構的內壁面接觸。

6.根據權利要求1所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述內配合組件和外配合組件的材質均為陶瓷；

所述內配合組件凹陷結構的尺寸與外配合組件凸出結構的尺寸相匹配。

7.根據權利要求1所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述濺射設備配件呈環形腔體結構，其材質為鋁合金。

8.根據權利要求4所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述固定件呈T型空心結構，所述固定件截面積較小的一端環繞環件本體配件的連接部固定，所述固定件截面積較大的一端卡住外配合組件將其固定。

9.根據權利要求8所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述固定件的內壁上設有螺紋，其內部安裝有螺釘，所述螺釘與固定件內壁形成螺紋連接。

10.根據權利要求9所述的靶材環件安裝結構，其特征在于，所述螺釘的一端插入環件本體配件連接部端面上的凹槽中，形成螺紋連接。