[實用新型]鍍膜設(shè)備狀態(tài)實時監(jiān)控裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022159528.7
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN213327818U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王念;朱亞安;段堯;陳俐欣;張春梅;楊天倫
• 申請（專利權(quán)）人: 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/24
• 代理公司: 昆明祥和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 53114
• 代理人: 施建輝

本實用新型為一種鍍膜設(shè)備狀態(tài)實時監(jiān)控裝置，該裝置設(shè)置于腔體底板中央，由氣缸、空心保護(hù)柱、步進(jìn)電機和攝像頭組成：氣缸設(shè)置在鍍膜設(shè)備的高真空腔體底板外，腔體底板設(shè)置真空法蘭，活塞穿過真空法蘭進(jìn)入腔體內(nèi)；腔體底板上垂直設(shè)置空心保護(hù)柱，氣缸活塞與空心保護(hù)柱同軸；活塞頂部依次向上設(shè)置有氣缸、步進(jìn)電機及攝像頭，步進(jìn)電機的轉(zhuǎn)子帶動攝像頭旋轉(zhuǎn)，所述氣缸、步進(jìn)電機及攝像頭均設(shè)置于空心保護(hù)柱內(nèi)；空心保護(hù)柱頂面中央開孔，開孔大小與攝像頭匹配；攝像頭、步進(jìn)電機和氣缸同時與控制器電性連接。該裝置可實時監(jiān)控?fù)醢搴哇釄蹇跔顩r以及腔內(nèi)任何可移動部件上的材料沉積情況、腔壁附著材料剝落情況，為隨后的故障排除提供有力的支持。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種OLED設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種鍍膜設(shè)備狀態(tài)實時監(jiān)控裝置。

背景技術(shù)

OLED器件的多層膜是在不同腔室分層蒸鍍的。每層膜的的蒸鍍速率和厚度變化都可能會影響到器件的性能。在產(chǎn)品的批量生產(chǎn)過程中，為了保證產(chǎn)品的一致性，對蒸鍍速率和膜厚的監(jiān)控是重中之重。

影響蒸鍍速率和膜厚的因素很多，如shutter（以下統(tǒng)一稱呼為擋板）的及時開關(guān)以及開關(guān)是否到位、材料熱應(yīng)力釋放導(dǎo)致噴料、坩堝口結(jié)料堵口、壁內(nèi)附著的材料剝落等等。這些狀況都能導(dǎo)致膜厚和參雜結(jié)構(gòu)的變化嚴(yán)重影響工藝，進(jìn)而影響產(chǎn)品性能，降低產(chǎn)品良率。由于對產(chǎn)品產(chǎn)生相同影響的原因多種多樣，逐一排除費時費力，嚴(yán)重影響生產(chǎn)。因此如何準(zhǔn)確、及時的排除故障對產(chǎn)品的正常生產(chǎn)非常重要。為解決上述問題，部分蒸鍍設(shè)備在腔體上設(shè)置了觀察窗，但由于擋板的遮擋、蒸鍍材料在觀察窗上的沉積導(dǎo)致無法觀察，而另一部分蒸鍍設(shè)備因腔壁安裝有冷泵、連接腔、晶振、冷卻管道等原因無法設(shè)置觀察窗。

發(fā)明內(nèi)容

為解決腔體內(nèi)部設(shè)備狀況無法觀察的困難，本專利提出了鍍膜設(shè)備狀態(tài)實時監(jiān)控裝置。

本實用新型的鍍膜設(shè)備狀態(tài)實時監(jiān)控裝置，設(shè)置于鍍膜設(shè)備的高真空腔體內(nèi)，腔體內(nèi)的擋板和坩堝在腔體內(nèi)呈中心對稱分布，該裝置設(shè)置于腔體底板中央，由氣缸、空心保護(hù)柱、步進(jìn)電機和攝像頭組成：氣缸設(shè)置在鍍膜設(shè)備的高真空腔體底板外，腔體底板設(shè)置真空法蘭，活塞穿過真空法蘭進(jìn)入腔體內(nèi)；腔體底板上垂直設(shè)置空心保護(hù)柱，氣缸活塞與空心保護(hù)柱同軸；活塞頂部依次向上設(shè)置有氣缸、步進(jìn)電機及攝像頭，步進(jìn)電機的轉(zhuǎn)子帶動攝像頭旋轉(zhuǎn)，所述氣缸、步進(jìn)電機及攝像頭均設(shè)置于空心保護(hù)柱內(nèi)；空心保護(hù)柱頂面中央開孔，開孔大小與攝像頭匹配；攝像頭、步進(jìn)電機和氣缸同時與控制器電性連接。

具體的，所述真空法蘭采用CF法蘭。

具體的，所述空心保護(hù)柱內(nèi)設(shè)置水冷器件，所述水冷器件采用沿空心保護(hù)柱內(nèi)壁設(shè)置的水冷管。

具體的，所述攝像頭采用紅外廣角針孔攝像頭。

監(jiān)控裝置工作時，先由氣缸把攝像頭從空心保護(hù)柱內(nèi)伸出，再控制步進(jìn)電機旋轉(zhuǎn)即可采集所有擋板、坩堝口以及腔壁圖像，采集完則把監(jiān)控設(shè)備降下藏于圓筒內(nèi)避免設(shè)備蒸鍍上材料，同時由空心保護(hù)柱內(nèi)壁的水冷器件給設(shè)備降溫，保證設(shè)備的可靠性及延長使用壽命。

該裝置可實時監(jiān)控?fù)醢搴哇釄蹇跔顩r以及腔內(nèi)任何可移動部件上的材料沉積情況、腔壁附著材料剝落情況等，為隨后的故障排除提供有力的支持，也可提前預(yù)警方便及時處理，節(jié)省時間成本，減少情況惡化產(chǎn)生的經(jīng)濟(jì)損失。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，擋板1，坩堝2，氣缸3，法蘭4，空心保護(hù)柱5,步進(jìn)電機6,攝像頭7。

具體實施方式

實施例1：本實用新型的OLED設(shè)備狀態(tài)實時監(jiān)控裝置，其特征在于該裝置設(shè)置于腔體底板中央，由氣缸3、空心保護(hù)柱5、步進(jìn)電機6和攝像頭7組成，氣缸3設(shè)置在鍍膜設(shè)備的高真空腔體底板外，腔體底板設(shè)置真空法蘭4，活塞穿過CF法蘭4進(jìn)入腔體內(nèi)；腔體底板上垂直設(shè)置空心保護(hù)柱5，空心保護(hù)柱5直徑10-15cm，高度為5-10cm，氣缸3活塞與空心保護(hù)柱5同軸；活塞頂部依次向上設(shè)置有氣缸3、步進(jìn)電機6及紅外廣角針孔攝像頭7，步進(jìn)電機6的轉(zhuǎn)子帶動攝像頭7旋轉(zhuǎn)，所述氣缸3、步進(jìn)電機6及攝像頭7均設(shè)置于空心保護(hù)柱5內(nèi)；所述空心保護(hù)柱5內(nèi)還設(shè)置有水冷器件，所述水冷器件采用沿空心保護(hù)柱5內(nèi)壁設(shè)置的水冷管；空心保護(hù)柱5頂面中央開孔，開孔大小為3-7cm；攝像頭7由氣缸3帶動，根據(jù)所需視野選擇升降高度為3-7cm，再由步進(jìn)電機6帶動其旋轉(zhuǎn)至指定位置。