[實用新型]鍍膜設備狀態實時監控裝置

有效

• 申請號: 202022159528.7
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN213327818U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 王念;朱亞安;段堯;陳俐欣;張春梅;楊天倫
• 申請（專利權）人: 云南北方奧雷德光電科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/24
• 代理公司: 昆明祥和知識產權代理有限公司 53114
• 代理人: 施建輝

1.鍍膜設備狀態實時監控裝置，設置于鍍膜設備的高真空腔體內，腔體內的擋板（1）和坩堝（2）在腔體內呈中心對稱分布，其特征在于設置于腔體底板中央，由氣缸（3）、空心保護柱（5）、步進電機（6）和攝像頭（7）組成：氣缸（3）設置在鍍膜設備的高真空腔體底板外，腔體底板設置真空法蘭（4），活塞穿過真空法蘭（4）進入腔體內；腔體底板上垂直設置空心保護柱（5），氣缸（3）活塞與空心保護柱（5）同軸；活塞頂部依次向上設置有氣缸（3）、步進電機（6）及攝像頭（7），步進電機（6）的轉子帶動攝像頭（7）旋轉，所述氣缸（3）、步進電機（6）及攝像頭（7）均設置于空心保護柱（5）內；空心保護柱（5）頂面中央開孔，開孔大小與攝像頭（7）匹配；攝像頭（7）、步進電機（6）和氣缸（3）同時與控制器電性連接。

2.如權利要求1所述的鍍膜設備狀態實時監控裝置，其特征在于真空法蘭（4）采用CF法蘭（4）。

3.如權利要求1所述的鍍膜設備狀態實時監控裝置，其特征在于空心保護柱（5）內設置水冷器件，所述水冷器件采用沿空心保護柱（5）內壁設置的水冷管。

4.如權利要求1所述的鍍膜設備狀態實時監控裝置，其特征在于攝像頭（7）采用紅外廣角針孔攝像頭（7）。