[實用新型]一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022156075.2
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN213020919U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 崔恒;葛春橋;柳春錫;金志洸;王夢涵
• 申請（專利權(quán)）人: 中山智隆新材料科技有限公司
• 主分類號: F27B5/05
• 分類號: F27B5/05;F27D9/00;F27D1/18;F27B5/14;C22B7/00;C22B58/00
• 代理公司: 廣東科信啟帆知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44710
• 代理人: 吳少東

本實用新型公開一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)，包括底座和連接筒，所述連接筒的上端安裝有底座，所述底座的上端設(shè)置有真空爐，所述真空爐的上端外壁上設(shè)置有冷卻水管道，所述冷卻水管道的下端外壁穿過真空爐并設(shè)置在真空爐的內(nèi)部，所述真空爐內(nèi)部的底座上端外壁上設(shè)置有真空倉門，所述真空倉門右側(cè)的真空爐內(nèi)部設(shè)置有加熱棒，所述底座的上端內(nèi)部設(shè)置有對位板，通過設(shè)計一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)，在提純銦完成后能夠?qū)⒄婵諅}門從真空爐內(nèi)部向上升起，能夠很方便地將真空倉門內(nèi)部的廢料完整地取出，且在不使用時能夠縮到真空爐的下端，不會在真空爐使用時存在在真空爐的內(nèi)部對提純造成影響。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于ITO廢靶提純銦相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)。

背景技術(shù)

ITO靶材是一種銦錫復合氧化物陶瓷材料，廣泛應(yīng)用于平板顯示器件的透明電極、太陽能電池、飛機及高檔汽車的防霧防霜玻璃等領(lǐng)域，ITO靶材的原料是氧化錫和氧化銦，氧化銦由銦金屬制備得到，銦金屬是一種貴重金屬，全球預估真正可以得到的銦僅1.5萬噸，而ITO靶材在濺射時使用率較低，一般僅為30％-40％，因此回收提純ITO廢靶材中的金屬銦十分必要。

現(xiàn)有的ITO廢靶提純銦機構(gòu)技術(shù)存在以下問題：現(xiàn)有的ITO廢靶提純銦機構(gòu)在使用后需要將廢料從真空爐內(nèi)部取出，但廢料在真空倉門的內(nèi)部，從真空爐內(nèi)部取出不夠方便，不方便完整地取出收集。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的ITO廢靶提純銦機構(gòu)在將廢料從真空爐內(nèi)部取出不夠方便的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)，包括底座和連接筒，所述連接筒的上端安裝有底座，所述底座的上端設(shè)置有真空爐，所述真空爐的上端外壁上設(shè)置有冷卻水管道，所述冷卻水管道的下端外壁穿過真空爐并設(shè)置在真空爐的內(nèi)部，所述真空爐內(nèi)部的底座上端外壁上設(shè)置有真空倉門，所述真空倉門右側(cè)的真空爐內(nèi)部設(shè)置有加熱棒，所述底座的上端內(nèi)部設(shè)置有對位板，所述對位板的下端外壁上設(shè)置有螺紋桿，所述螺紋桿的下端外壁穿過連接筒并設(shè)置在連接筒的內(nèi)部，所述螺紋桿的下端外壁上設(shè)置有擋板，所述連接筒上端內(nèi)壁上的螺紋桿外部套接有螺旋套，所述螺旋套的前端上側(cè)外部套接有連接環(huán)，所述連接環(huán)的外部套接有套環(huán)，所述套環(huán)的上端外壁和連接筒的內(nèi)壁通過焊接的方式固定連接。

優(yōu)選的，所述對位板的下端外部套接有密封墊圈，所述對位板通過密封墊圈和底座的上端內(nèi)壁密封連接。

優(yōu)選的，所述連接環(huán)的外壁和套環(huán)的內(nèi)壁能夠完全貼合，所述套環(huán)的內(nèi)壁均為光滑壁。

優(yōu)選的，所述對位板的上端面和底座的上端外壁處于同一水平時，所述螺紋桿下端的擋板和連接筒的下端外壁處于同一水平面。

優(yōu)選的，所述螺旋套的外壁上設(shè)置有摩擦紋，所述螺旋套的內(nèi)部設(shè)置有和螺紋桿匹配的內(nèi)螺紋。

優(yōu)選的，所述加熱棒共設(shè)置有兩個，兩個所述加熱棒分別設(shè)置在真空倉門左右側(cè)的真空爐內(nèi)部。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供了一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)，具備以下有益效果：

本實用新型通過設(shè)計一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)，在提純銦完成后能夠?qū)⒄婵諅}門從真空爐內(nèi)部向上升起，能夠很方便地將真空倉門內(nèi)部的廢料完整地取出，且在不使用時能夠縮到真空爐的下端，不會在真空爐使用時存在在真空爐的內(nèi)部對提純造成影響，在提純銦使用完成后，將空氣通入真空爐內(nèi)部，轉(zhuǎn)動螺旋套使得螺紋桿頂著對位板上升，將真空倉門頂升到真空爐的上端內(nèi)部，即可很方便地打開倉門將倉門內(nèi)部的廢料取出回收，然后再反向轉(zhuǎn)動螺旋套使得螺紋桿退回到連接筒的內(nèi)部即可，通過本新型具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構(gòu)使得設(shè)備內(nèi)部廢料的回收更加方便。

附圖說明