[實用新型]一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構

有效

• 申請號: 202022156075.2
• 申請日: 2020-09-27
• 公開（公告）號: CN213020919U
• 公開（公告）日: 2021-04-20
• 發明（設計）人: 崔恒;葛春橋;柳春錫;金志洸;王夢涵
• 申請（專利權）人: 中山智隆新材料科技有限公司
• 主分類號: F27B5/05
• 分類號: F27B5/05;F27D9/00;F27D1/18;F27B5/14;C22B7/00;C22B58/00
• 代理公司: 廣東科信啟帆知識產權代理事務所(普通合伙) 44710
• 代理人: 吳少東

1.一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構，包括底座(4)和連接筒(5)，其特征在于：所述連接筒(5)的上端安裝有底座(4)，所述底座(4)的上端設置有真空爐(2)，所述真空爐(2)的上端外壁上設置有冷卻水管道(1)，所述冷卻水管道(1)的下端外壁穿過真空爐(2)并設置在真空爐(2)的內部，所述真空爐(2)內部的底座(4)上端外壁上設置有真空倉門(10)，所述真空倉門(10)右側的真空爐(2)內部設置有加熱棒(3)，所述底座(4)的上端內部設置有對位板(11)，所述對位板(11)的下端外壁上設置有螺紋桿(6)，所述螺紋桿(6)的下端外壁穿過連接筒(5)并設置在連接筒(5)的內部，所述螺紋桿(6)的下端外壁上設置有擋板(7)，所述連接筒(5)上端內壁上的螺紋桿(6)外部套接有螺旋套(8)，所述螺旋套(8)的前端上側外部套接有連接環(12)，所述連接環(12)的外部套接有套環(9)，所述套環(9)的上端外壁和連接筒(5)的內壁通過焊接的方式固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構，其特征在于：所述對位板(11)的下端外部套接有密封墊圈，所述對位板(11)通過密封墊圈和底座(4)的上端內壁密封連接。

3.根據權利要求1所述的一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構，其特征在于：所述連接環(12)的外壁和套環(9)的內壁能夠完全貼合，所述套環(9)的內壁均為光滑壁。

4.根據權利要求1所述的一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構，其特征在于：所述對位板(11)的上端面和底座(4)的上端外壁處于同一水平時，所述螺紋桿(6)下端的擋板(7)和連接筒(5)的下端外壁處于同一水平面。

5.根據權利要求1所述的一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構，其特征在于：所述螺旋套(8)的外壁上設置有摩擦紋，所述螺旋套(8)的內部設置有和螺紋桿(6)匹配的內螺紋。

6.根據權利要求1所述的一種具有升降功能的ITO廢靶提純銦機構，其特征在于：所述加熱棒(3)共設置有兩個，兩個所述加熱棒(3)分別設置在真空倉門(10)左右側的真空爐(2)內部。