[實用新型]離子注入機用護板及離子注入機

有效

• 申請號: 202022142379.3
• 申請日: 2020-09-24
• 公開（公告）號: CN212725222U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 吳奧明;李前鳳
• 申請（專利權）人: 深圳億博爾電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/30
• 代理公司: 深圳茂達智聯知識產權代理事務所(普通合伙) 44394
• 代理人: 張凡

本實用新型公開了一種離子注入機用護板，包括若干用于遮擋離子注入機工藝腔內壁的單元板，若干所述單元板可拆卸的設于工藝腔內。本實用新型還公開一種離子注入機，包括工藝腔，所述工藝腔內可拆卸的設有護板。本實用新型提供的離子注入機用護板及離子注入機，提高了離子注入機的稼動率。

技術領域

本實用新型涉及平板加工技術領域，具體地說，涉及一種離子注入機用護板及離子注入機。

背景技術

隨著平板顯示工業的逐步升級，低溫多晶硅技術因為自身不可替代的優勢逐漸被國內面板行業廠家引入，用于各類移動顯示產品的生產中。離子注入機作為低溫多晶硅工藝的重要一環，不可避免的導入到各類工廠中。

在離子注入過程中，各類離子或多或少的會附著在離子注入機工藝腔腔壁。隨著生產的繼續，工藝腔腔壁的離子附著越來越多，不僅影響工藝腔的環境，且會給產品帶來不良。因此離子注入機在生產一段時間后，不得不停機進行腔壁附著離子的清潔和保養作業。但清潔和保養耗時長，如日新離子注入設備(NISSIN ION EQUIPMENT)IG6的工藝腔，單次保養需耗時16H，極大的影響了設備的稼動率和工廠整體的產能。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種離子注入機用護板及離子注入機，提高離子注入機的稼動率。

本實用新型公開的離子注入機用護板所采用的技術方案是:

一種離子注入機用護板，包括若干用于遮擋離子注入機工藝腔內壁的單元板，若干所述單元板可拆卸的設于工藝腔內。

作為優選方案，所述單元板包括至少一鏡面板。

作為優選方案，所述單元板包括若干鏡面板以及連接相鄰鏡面板的加強筋。

作為優選方案，所述加強筋一側焊接連接一鏡面板，所述加強筋另一側通過第一緊固件可拆卸的連接另一鏡面板。

作為優選方案，所述單元板通過第二緊固件可拆卸的固定于工藝腔內壁。

作為優選方案，在所述單元板背面設置卡凸，所述卡凸與形成在工藝腔內壁的卡槽相合。

作為優選方案，所述鏡面板采用不銹鋼材料所制。

作為優選方案，所述鏡面板厚度為0.6mm。

作為優選方案，所述鏡面板的上表面光潔度11級，表面粗糙度Ra0.1-0.2um。

本實用新型還公開一種離子注入機，包括工藝腔，所述工藝腔內可拆卸的設有護板。

本實用新型公開的離子注入機用護板及離子注入機的有益效果是：通過單元板遮擋離子注入機工藝腔內壁，讓原本附著在腔壁的離子附著在單元板上。在離子注入機維修保養時，通過更換工藝腔的單元板的方式，可極大的縮短保養時間，提高了離子注入機的稼動率，同時也極大的降低了離子注入機的保養難度。

附圖說明

圖1是本實用新型離子注入機用護板的結構示意圖。

圖2是本實用新型離子注入機用護板的另一視角的結構示意圖。

圖3是本實用新型離子注入機用護板的單元板的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合具體實施例和說明書附圖對本實用新型做進一步闡述和說明:

請參考圖1、圖2和圖3，一種離子注入機用護板，包括若干用于遮擋離子注入機工藝腔內壁的單元板10，若干單元板10可拆卸的設于工藝腔內。通過單元板10遮擋離子注入機工藝腔內壁，讓原本附著在腔壁的離子附著在單元板10上。在離子注入機維修保養時，只需更換工藝腔內的單元板10。