[實用新型]離子注入機用護板及離子注入機有效
| 申請號： | 202022142379.3 | 申請日： | 2020-09-24 |
| 公開（公告）號： | CN212725222U | 公開（公告）日： | 2021-03-16 |
| 發明（設計）人： | 吳奧明;李前鳳 | 申請（專利權）人： | 深圳億博爾電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 深圳茂達智聯知識產權代理事務所(普通合伙) 44394 | 代理人： | 張凡 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍華*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子 注入 機用護板 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子注入機用護板，其特征在于，包括若干用于遮擋離子注入機工藝腔內壁的單元板，若干所述單元板可拆卸的設于工藝腔內。
2.如權利要求1所述的離子注入機用護板，其特征在于，所述單元板包括至少一鏡面板。
3.如權利要求1所述的離子注入機用護板，其特征在于，所述單元板包括若干鏡面板以及連接相鄰鏡面板的加強筋。
4.如權利要求3所述的離子注入機用護板，其特征在于，所述加強筋一側焊接連接一鏡面板，所述加強筋另一側通過第一緊固件可拆卸的連接另一鏡面板。
5.如權利要求1所述的離子注入機用護板，其特征在于，所述單元板通過第二緊固件可拆卸的固定于工藝腔內壁。
6.如權利要求1所述的離子注入機用護板，其特征在于，在所述單元板背面設置卡凸，所述卡凸與形成在工藝腔內壁的卡槽相合。
7.如權利要求2-4任一項所述的離子注入機用護板，其特征在于，所述鏡面板采用不銹鋼材料所制。
8.如權利要求2-4任一項所述的離子注入機用護板，其特征在于，所述鏡面板厚度為0.6mm。
9.如權利要求2-4任一項所述的離子注入機用護板，其特征在于，所述鏡面板的上表面的光潔度11級。
10.一種離子注入機，其特征在于，包括工藝腔，所述工藝腔內可拆卸的設有如權利要求1-9任一項所述的護板。
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