[實用新型]一種傳輸系統

有效

• 申請號: 202022139310.5
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN212874467U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 劉凱;付紅艷;劉浩;王剛
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備(集團)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種傳輸系統，其特征在于，包括：

存儲庫，用于存放不同形狀及尺寸的工件；

工件臺(1)，能夠承載不同形狀及尺寸的工件；

傳輸機構(2)，包括驅動件(21)和至少兩個用于吸取不同形狀及尺寸工件的片叉，所述驅動件(21)能夠驅動所述片叉吸取所述存儲庫中的工件，并將所述工件轉移至所述工件臺(1)上。

2.根據權利要求1所述的傳輸系統，其特征在于，所述工件臺(1)包括至少兩組吸附范圍不同的吸附組件，所述吸附組件能夠升降以接收不同片叉上的工件。

3.根據權利要求1所述的傳輸系統，其特征在于，所述驅動件(21)能夠驅動所述片叉轉動，所述片叉的運動軌跡形成虛擬圓形(100)。

4.根據權利要求2所述的傳輸系統，其特征在于，至少兩組所述吸附組件中包括第一吸附組件和第二吸附組件，所述第一吸附組件包括多個間隔設置的第一吸附件(11)，多個所述第一吸附件(11)圍設在所述第二吸附組件的周側。

5.根據權利要求1所述的傳輸系統，其特征在于，所述存儲庫包括多個用于存放不同形狀及尺寸的工件的片庫，多個所述片庫和所述工件臺(1)以所述驅動件(21)的輸出端為圓心呈圓周分布。

6.根據權利要求5所述的傳輸系統，其特征在于，所述傳輸系統還包括多個預對準工位，多個所述預對準工位位于多個所述片庫和所述工件臺(1)形成的圓周上。

7.根據權利要求6所述的傳輸系統，其特征在于，多個所述片庫中包括圓片片庫(3)和方片片庫(4)，所述圓片片庫(3)與所述方片片庫(4)平行間隔設置，且所述圓片片庫(3)和所述方片片庫(4)設置在所述驅動件(21)的一側，所述工件臺(1)設置在所述驅動件(21)的另一側。

8.根據權利要求7所述的傳輸系統，其特征在于，多個所述預對準工位中包括圓片預對準工位(5)和方片預對準工位(6)，所述圓片預對準工位(5)位于所述圓片片庫(3)和所述工件臺(1)之間；所述方片預對準工位(6)位于所述方片片庫(4)和所述工件臺(1)之間。

9.根據權利要求8所述的傳輸系統，其特征在于，所述圓片預對準工位(5)的中心和所述方片預對準工位(6)的中心的連線經過所述驅動件(21)的輸出端。

10.根據權利要求1所述的傳輸系統，其特征在于，所述傳輸機構(2)還包括至少兩個伸縮組件，每個所述伸縮組件的一端均與所述驅動件(21)的輸出端相連接，每個所述伸縮組件的另一端與一個所述片叉相連接，所述驅動件(21)能夠驅動所述伸縮組件轉動，所述伸縮組件能夠驅動所述片叉在水平面內移動。