[實用新型]一種耐高溫基片夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022135360.6
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN214218845U
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李國強;舒逸;劉光斗;李贊
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南玉豐真空科學(xué)技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 湖南格創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43263
• 代理人: 張文

本實用新型公開了一種耐高溫基片夾具，包括由左、右立柱和上、下橫梁連成一個整體的框架，在上、下橫梁上分別設(shè)置有用于裝載基片的卡槽，在左、右立柱分別設(shè)置有翻板機構(gòu)，翻板機構(gòu)包括固定在左立柱/右立柱上的固定座，固定座上通過銷軸轉(zhuǎn)動連接有壓板，在左立柱/右立柱上嵌入安裝有耐高溫磁鐵，壓板與耐高溫磁鐵相對應(yīng)部位為能被磁鐵吸引的金屬材質(zhì)，壓板與基片接觸部位為PEEK材質(zhì)。本實用新型的耐高溫基片夾具采用鈦合金材質(zhì)的整體框架，更加耐高溫，卡槽、壓板選用比金屬質(zhì)軟又能耐高溫的PEEK材質(zhì)，不會造成玻璃基片表面劃傷，翻板機構(gòu)操作便捷，基片裝卸方便，中間連桿及PEEK材質(zhì)的隔套可對玻璃基片起到有效的保護(hù)作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空鍍膜機的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種耐高溫基片夾具。

背景技術(shù)

在LCD顯示器、電致發(fā)光屏、太陽能電池、冰箱玻璃、觸摸屏、等離子顯示器、OLED顯示器、塑料金屬化等產(chǎn)品的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)工藝中，需要將待加工的玻璃基片安裝在鍍膜設(shè)備的基片架上，隨著基片架的移動實現(xiàn)被加工玻璃基片在鍍膜加工中的位置移動，使得被鍍膜的玻璃基片依此進(jìn)入鍍膜室進(jìn)行濺射鍍膜。

常規(guī)的基片架對耐溫要求不高，通常采用鋁合金材料，普通的基片架隨溫度升高以后會出現(xiàn)不同形狀的變形，容易造成設(shè)備在運行過程中的卡架現(xiàn)象，不適合于高溫鍍膜產(chǎn)品。同時，如果用于裝夾基片的夾具所采用的材料選用不當(dāng)，會造成玻璃表面劃傷。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用便捷的耐高溫基片夾具。

本實用新型采用的技術(shù)方案如下：一種耐高溫基片夾具，包括由左、右立柱和上、下橫梁連成一個整體的框架，在上、下橫梁上分別設(shè)置有用于裝載基片的卡槽，在左、右立柱分別設(shè)置有翻板機構(gòu)，所述翻板機構(gòu)包括固定在左立柱和右立柱上的固定座，所述固定座上通過銷軸轉(zhuǎn)動連接有壓板，在左立柱和右立柱上嵌入安裝有耐高溫磁鐵，所述壓板與耐高溫磁鐵相對應(yīng)部位為能被磁鐵吸引的金屬材質(zhì)，壓板與基片接觸部位為PEEK材質(zhì)。

進(jìn)一步地，所述左、右立柱和上、下橫梁的材質(zhì)為鈦合金。

進(jìn)一步地，所述卡槽的材質(zhì)為PEEK材質(zhì)。

進(jìn)一步地，翻板機構(gòu)設(shè)置有四個，分別對稱設(shè)置在左、右立柱的上、下部。

進(jìn)一步地，在左、右立柱之間連接有多根中間連桿，所述中間連桿上套有多個隔套。

進(jìn)一步地，所述隔套為PEEK材質(zhì)。

本實用新型的耐高溫基片夾具通過左右立柱和上下橫梁連成一個整體框架，材質(zhì)為鈦合金，相比常規(guī)基片夾具更加耐高溫，持續(xù)耐溫200度以上，上下卡槽選用比金屬質(zhì)軟又能耐高溫的PEEK材質(zhì)，不會造成玻璃基片表面劃傷；左右翻板機構(gòu)用于裝卸片，壓住玻璃基片位置的壓板也采用PEEK材質(zhì)，能有效保護(hù)玻璃基片表面，當(dāng)玻璃基片需要夾緊時將壓板往中間翻轉(zhuǎn)即可，在左右立柱中嵌入安裝有耐高溫磁鐵，有效的保證了翻板機構(gòu)中的壓板和玻璃基片有效貼合，如果需要打開只需要把壓板反向翻轉(zhuǎn)180度即可；由于玻璃基片規(guī)格比較大，在框架背面設(shè)有幾個中間連桿，并在中間連桿上套有幾個PEEK材質(zhì)的隔套，能避免設(shè)備在運行中由于抽氣對玻璃形變影響，對玻璃基片起到有效的保護(hù)作用；本實用新型的耐高溫基片夾具可用于高溫鍍膜設(shè)備裝置中，操作方便，結(jié)構(gòu)簡單。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型的翻板機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了便于理解本實用新型，下文將結(jié)合說明書附圖和較佳的實施例對本實用新型作更全面、細(xì)致地描述，但本實用新型的保護(hù)范圍并不限于以下具體的實施例。