[實用新型]一種耐高溫基片夾具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022135360.6
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN214218845U
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李國強(qiáng);舒逸;劉光斗;李贊
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南玉豐真空科學(xué)技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 湖南格創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43263
• 代理人: 張文

1.一種耐高溫基片夾具，其特征在于：包括由左、右立柱和上、下橫梁連成一個整體的框架，在上、下橫梁上分別設(shè)置有用于裝載基片的卡槽，在左、右立柱分別設(shè)置有翻板機(jī)構(gòu)，所述翻板機(jī)構(gòu)包括固定在左立柱和右立柱上的固定座，所述固定座上通過銷軸轉(zhuǎn)動連接有壓板，在左立柱和右立柱上嵌入安裝有耐高溫磁鐵，所述壓板與耐高溫磁鐵相對應(yīng)部位為能被磁鐵吸引的金屬材質(zhì)，壓板與基片接觸部位為PEEK材質(zhì)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種耐高溫基片夾具，其特征在于：所述左、右立柱和上、下橫梁的材質(zhì)為鈦合金。

3.如權(quán)利要求1所述的一種耐高溫基片夾具，其特征在于：所述卡槽的材質(zhì)為PEEK材質(zhì)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種耐高溫基片夾具，其特征在于：所述翻板機(jī)構(gòu)設(shè)置有四個，分別對稱設(shè)置在左、右立柱的上、下部。

5.如權(quán)利要求1-4任意一項所述的一種耐高溫基片夾具，其特征在于：在左、右立柱之間連接有多根中間連桿，所述中間連桿上套有多個隔套。

6.如權(quán)利要求5所述的一種耐高溫基片夾具，其特征在于：所述隔套為PEEK材質(zhì)。