[實用新型]一種用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備

有效

• 申請號: 202022134426.X
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN213411555U
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發明（設計）人: 柴旭;王宜豹;蓋志剛;姜辛;郭風祥;張妹;陳志剛;王韶琰;孫小玲;胡鼎;劉壽生;張麗麗
• 申請（專利權）人: 山東省科學院海洋儀器儀表研究所
• 主分類號: B24B27/033
• 分類號: B24B27/033;B24B47/22;B24B47/20;B24B41/06;B24C3/12;B24C9/00;B08B3/12;C23F1/26
• 代理公司: 青島華慧澤專利代理事務所(普通合伙) 37247
• 代理人: 馬千會

本實用新型屬于金屬表面處理技術領域，具體涉及硼摻雜金剛石基底表面處理的設備和方法。一種用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，包括拋光裝置、化學處理裝置和噴砂裝置；所述拋光裝置主要由傳送帶、拋光棒和樣品固定裝置組成，所述樣品固定裝置和拋光棒設置在所述傳送帶上方。本實用新型的自動化設備，集成拋光處理，化學處理，噴砂處理，將化學處理和物理處理有機結合，成本遠遠低于等離子刻蝕技術；有效增加基片的表面粗糙度，增加電極水處理面積；提高薄膜與基底的結合性能，延長電極使用壽命，降低電極使用成本。

技術領域

本實用新型屬于金屬表面處理技術領域，具體涉及硼摻雜金剛石基底表面處理的設備。

背景技術

目前，硼摻雜金剛石薄膜電極作為污水處理電極，可以有效降解有機污染物等難降解污水。然而大面積生產電極的使用壽命嚴重限制其使用范圍，主要是因為基底鈮片與薄膜結合力弱，薄膜不夠致密。造成這種現象最根本的原因是對基底鈮片處理工藝粗糙，基片表面處理不均勻，人為因素影響大。目前沒有一個規范以及標準的預處理設備和工藝。此外，硼摻雜金剛石薄膜一般沉積在鈮片或者鈦片，由于硼摻雜金剛石薄膜性能穩定，使用后的電極片很難回收再利用，造成了鈮和鈦資源的浪費，目前亟需一個基片重復利用處理設備和處理工藝，對回收的基底鈮片表面進行處理，提供表面潔凈，粗糙度一致的大面積大批量基片，以達到重復利用的目的。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了提供一種對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，實現硼摻雜金剛石基片的回收處理和重復利用。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：一種用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，包括拋光裝置、化學處理裝置和噴砂裝置；所述拋光裝置主要由傳送帶、拋光棒和樣品固定裝置組成，所述樣品固定裝置和拋光棒設置在所述傳送帶上方。

作為本實用新型的一種優選方式，所述的拋光棒與液壓裝置連接，通過液壓裝置控制其拋光壓力。

作為本實用新型的一種優選方式，所述化學處理裝置包括處理容器；所述處理容器內盛裝化學處理試劑。

作為本實用新型的一種優選方式，所述的處理容器至少有2個，其內分別盛裝酸處理溶液、超純水。

進一步優選地，所述的處理容器還包括裝有酒精溶液的處理容器。

進一步優選地，所述的處理容器內設有超聲清洗裝置。

作為本實用新型的一種優選方式，所述噴砂裝置包括噴嘴，與噴嘴連接的電動導軌；所述噴嘴在所述電動導軌的帶動下，對化學處理后的基片表面進行均勻噴砂。

作為本實用新型的一種優選方式，所述的樣品固定裝置由支架、液壓桿和固定板組成，所述液壓桿的上端固定在所述支架的四周，下端與固定板連接。

作為本實用新型的一種優選方式，還包括樣品轉移裝置，所述的樣品轉移裝置還包括樣品托盤，所述樣品托盤與電動導軌連接，在電動導軌的帶動下，將樣品送入不同的處理容器內進行處理。

進一步優選地，所述的樣品轉移裝置包括機械臂，用于在拋光裝置、化學處理裝置、噴砂裝置之間轉移樣品。

本實用新型的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設備，具有的有益效果是：

1.自動化處理過程，提高樣品良品率，降低人工成本。

2.集成拋光處理，酸處理，噴砂處理，將化學處理和物理處理有機結合，成本遠遠低于等離子刻蝕技術。

3.有效增加基片的表面粗糙度，增加電極水處理面積

4.提高薄膜與基底的結合性能，延長電極使用壽命，降低電極使用成本。

5.本實用新型的裝置能夠對回收的基底鈮片進行處理，實現基底鈮片的重復利用，顯著降低鈮和鈦資源的浪費，同時也降低了成本。