[實用新型]一種用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022134426.X
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN213411555U
• 公開（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柴旭;王宜豹;蓋志剛;姜辛;郭風(fēng)祥;張妹;陳志剛;王韶琰;孫小玲;胡鼎;劉壽生;張麗麗
• 申請（專利權(quán)）人: 山東省科學(xué)院海洋儀器儀表研究所
• 主分類號: B24B27/033
• 分類號: B24B27/033;B24B47/22;B24B47/20;B24B41/06;B24C3/12;B24C9/00;B08B3/12;C23F1/26
• 代理公司: 青島華慧澤專利代理事務(wù)所(普通合伙) 37247
• 代理人: 馬千會

1.一種用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：包括拋光裝置、化學(xué)處理裝置和噴砂裝置；所述拋光裝置主要由傳送帶、拋光棒和樣品固定裝置組成，所述樣品固定裝置和拋光棒設(shè)置在所述傳送帶上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：所述的拋光棒與液壓裝置連接，通過液壓裝置控制其拋光壓力。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：所述化學(xué)處理裝置包括處理容器；所述處理容器內(nèi)盛裝化學(xué)處理試劑。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：所述的處理容器至少有2個，其內(nèi)分別盛裝酸處理溶液、超純水。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：還包括裝有酒精溶液的處理容器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：所述的處理容器內(nèi)設(shè)有超聲清洗裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：所述噴砂裝置包括噴嘴，與噴嘴連接的電動導(dǎo)軌；所述噴嘴在所述電動導(dǎo)軌的帶動下，對化學(xué)處理后的基片表面進(jìn)行均勻噴砂。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：所述的樣品固定裝置由支架、液壓桿和固定板組成，所述液壓桿的上端固定在所述支架的四周，下端與固定板連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：還包括樣品轉(zhuǎn)移裝置，所述的樣品轉(zhuǎn)移裝置還包括樣品托盤，所述樣品托盤與電動導(dǎo)軌連接，在電動導(dǎo)軌的帶動下，將樣品送入不同的處理容器內(nèi)進(jìn)行處理。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的用于對硼摻雜金剛石基底表面處理的自動化設(shè)備，其特征在于：所述的樣品轉(zhuǎn)移裝置包括機(jī)械臂，用于在拋光裝置、化學(xué)處理裝置、噴砂裝置之間轉(zhuǎn)移樣品。