[實用新型]超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備

有效

• 申請號: 202022131754.4
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN213433037U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 鄭春寧;王偉;俞冬雷
• 申請（專利權）人: 南京亞格泰新能源材料有限公司
• 主分類號: B01D3/14
• 分類號: B01D3/14;B01D5/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 李寰

本實用新型的目的是提供一種超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備，通過設置兩兩互相連接第一精餾塔、第二精餾塔和第三精餾塔，對乙硅烷進行多級精餾，第一精餾塔、第二精餾塔分部通過第一三通閥門和第二三通閥門連接第一儲氣罐和第二儲氣罐，從而可以得到不同純度的乙硅烷，并且第一儲氣罐和第二儲氣罐分別連接第二精餾塔和第三精餾塔，這樣可根據需要進行選擇性再次精餾，精餾塔通過冷凝器進行冷凝，設置冷頭連接制冷機提供冷源，整個精餾分離設備靈活性好，可滿足各種生產需求，適用于生產中。

技術領域

本實用新型涉及乙硅烷制備領域，尤其涉及一種超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備。

背景技術

乙硅烷是一種無機化合物，其化學式為Si2H6，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質，但其反應性比硅烷更強。主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。乙硅烷的制備過程中首先是反應得到乙硅烷，之后需要對乙硅烷進行低溫精餾分離，得到純凈的乙硅烷。目前生產中沒有多級精餾的設備，需要多級精餾出超凈高純的乙硅烷。因此解決這一問題就顯得十分必要了。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備，通過設置兩兩互相連接第一精餾塔、第二精餾塔和第三精餾塔，對乙硅烷進行多級精餾，第一精餾塔、第二精餾塔分部通過第一三通閥門和第二三通閥門連接第一儲氣罐和第二儲氣罐，從而可以得到不同純度的乙硅烷，并且第一儲氣罐和第二儲氣罐分別連接第二精餾塔和第三精餾塔，這樣可根據需要進行選擇性再次精餾，精餾塔通過冷凝器進行冷凝，設置冷頭連接制冷機提供冷源，整個精餾分離設備靈活性好，可滿足各種生產需求，解決了背景技術中出現的問題。

本實用新型的目的是提供一種超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備，包括有第一精餾塔、第二精餾塔和第三精餾塔，所述第一精餾塔、第二精餾塔和第三精餾塔頂部分別設置有第一冷凝器、第二冷凝器和第三冷凝器，第一冷凝器、第二冷凝器和第三冷凝器頂部分別設置有第一冷頭、第二冷頭和第三冷頭，第一冷頭、第二冷頭和第三冷頭共同連接有制冷機；第一冷凝器、第二冷凝器和第三冷凝器底部分布設置有第一再沸器、第二再沸器和第三再沸器；所述第一精餾塔與第二精餾塔之間底部通過第一連接管相連；第二精餾塔和第三精餾塔之間底部通過第二連接管相連；第一連接管上設置有第一三通閥門，第一三通閥門底部連接有第一儲氣罐；第二連接管上設置有第二三通閥門，第二三通閥門底部連接有第二儲氣罐；第三精餾塔底部通過出氣管連接有第三儲氣罐。

進一步改進在于：所述第一冷頭、第二冷頭和第三冷頭的溫度逐漸降低，從而實現多級低溫精餾。

進一步改進在于：所述第一儲氣罐上設置有第一回氣管連接在第二精餾塔上；第二儲氣罐上設置有第二回氣管連接在第三精餾塔上；回氣管上均設置有閥門。

進一步改進在于：所述第一精餾塔左側連接有進氣管，進氣管連接凈化器。

本實用新型的有益效果：本實用新型通過設置兩兩互相連接第一精餾塔、第二精餾塔和第三精餾塔，對乙硅烷進行多級精餾，第一精餾塔、第二精餾塔分部通過第一三通閥門和第二三通閥門連接第一儲氣罐和第二儲氣罐，從而可以得到不同純度的乙硅烷，并且第一儲氣罐和第二儲氣罐分別連接第二精餾塔和第三精餾塔，這樣可根據需要進行選擇性再次精餾，精餾塔通過冷凝器進行冷凝，設置冷頭連接制冷機提供冷源，整個精餾分離設備靈活性好，可滿足各種生產需求，適用于生產中。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

其中：1-第一精餾塔，2-第二精餾塔，3-第三精餾塔，4-第一冷凝器，5-第二冷凝器，6-第三冷凝器，7-第一冷頭，8-第二冷頭，9-第三冷頭，10-制冷機，11-第一再沸器，12-第二再沸器，13-第三再沸器，14-第一連接管，15-第二連接管，16-第一三通閥門，17-第一儲氣罐，18-第二三通閥門，19-第二儲氣罐，20-出氣管，21-第三儲氣罐，22-第一回氣管，23-第二回氣管，24-進氣管，25-凈化器。