[實用新型]超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備

有效

• 申請號: 202022131754.4
• 申請日: 2020-09-25
• 公開（公告）號: CN213433037U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 鄭春寧;王偉;俞冬雷
• 申請（專利權）人: 南京亞格泰新能源材料有限公司
• 主分類號: B01D3/14
• 分類號: B01D3/14;B01D5/00
• 代理公司: 南京正聯知識產權代理有限公司 32243
• 代理人: 李寰

1.一種超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備，包括有第一精餾塔（1）、第二精餾塔（2）和第三精餾塔（3），其特征在于：所述第一精餾塔（1）、第二精餾塔（2）和第三精餾塔（3）頂部分別設置有第一冷凝器（4）、第二冷凝器（5）和第三冷凝器（6），第一冷凝器（4）、第二冷凝器（5）和第三冷凝器（6）頂部分別設置有第一冷頭（7）、第二冷頭（8）和第三冷頭（9），第一冷頭（7）、第二冷頭（8）和第三冷頭（9）共同連接有制冷機（10）；第一冷凝器（4）、第二冷凝器（5）和第三冷凝器（6）底部分布設置有第一再沸器（11）、第二再沸器（12）和第三再沸器（13）；所述第一精餾塔（1）與第二精餾塔（2）之間底部通過第一連接管（14）相連；第二精餾塔（2）和第三精餾塔（3）之間底部通過第二連接管（15）相連；第一連接管（14）上設置有第一三通閥門（16），第一三通閥門（16）底部連接有第一儲氣罐（17）；第二連接管（15）上設置有第二三通閥門（18），第二三通閥門（18）底部連接有第二儲氣罐（19）；第三精餾塔（3）底部通過出氣管（20）連接有第三儲氣罐（21）。

2.如權利要求1所述超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備，其特征在于：所述第一冷頭（7）、第二冷頭（8）和第三冷頭（9）的溫度逐漸降低，從而實現多級低溫精餾。

3.如權利要求1所述超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備，其特征在于：所述第一儲氣罐（17）上設置有第一回氣管（22）連接在第二精餾塔（2）上；第二儲氣罐（19）上設置有第二回氣管（23）連接在第三精餾塔（3）上；回氣管上均設置有閥門。

4.如權利要求1所述超凈乙硅烷生產的低溫精餾分離設備，其特征在于：所述第一精餾塔（1）左側連接有進氣管（24），進氣管（24）連接凈化器（25）。