[實用新型]一種多層MEMS結構有效
| 申請號： | 202022100291.5 | 申請日： | 2020-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN212982461U | 公開（公告）日： | 2021-04-16 |
| 發明（設計）人： | 吳炫燁;關一民 | 申請（專利權）人： | 上海新微技術研發中心有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/02 | 分類號： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 劉星 |
| 地址： | 201800 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多層 mems 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種多層MEMS結構，其特征在于，包括：
襯底；
至少兩層光敏干膜，自下而上依次堆疊于所述襯底上，所述光敏干膜中設有空腔，相鄰兩層所述光敏干膜中的所述空腔連通。
2.根據權利要求1所述的多層MEMS結構，其特征在于：所述光敏干膜的厚度范圍是5微米～1000微米。
3.根據權利要求1所述的多層MEMS結構，其特征在于：相鄰兩層所述光敏干膜中的所述空腔的開口面積不同。
4.根據權利要求1所述的多層MEMS結構，其特征在于：所述襯底表面設有電極層，位于底層的所述光敏干膜中的所述空腔暴露出所述電極層。
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